電子工業(yè)廠(chǎng)房潔凈技術(shù)的發(fā)展
四川華銳凈化 2019-05-02 10:51:35 閱讀
摘要：隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，現在越來(lái)越多的高科技產(chǎn)品來(lái)到了我們面前，因為畢竟是高科技產(chǎn)品，所以它的生產(chǎn)對于各項生產(chǎn)環(huán)節和生產(chǎn)工藝的要求也是非常高的。在這其中，對于生產(chǎn)車(chē)間也就是電子工業(yè)廠(chǎng)房的清潔要求也是比較高的，這就是我們需要注意的地方。本文針對現代電子工業(yè)廠(chǎng)房中的清潔技術(shù)進(jìn)行探討，先論述了現代電子工業(yè)廠(chǎng)房中潔凈技術(shù)的現狀，然后又介紹了一種較為先進(jìn)的新技術(shù)。
眾所周知，現在的電子科技產(chǎn)品都是比較精密高級的，稍微有一點(diǎn)差別可能就會(huì )導致整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的報廢，因此，在生產(chǎn)過(guò)程中應該及其注意各個(gè)能夠影響到電子產(chǎn)品生產(chǎn)的因素，其中電子工業(yè)廠(chǎng)房的環(huán)境是對于目前電子產(chǎn)品生產(chǎn)影響較為嚴重的一點(diǎn)。目前，眾多的電子工業(yè)廠(chǎng)房中都已經(jīng)采取了各種各樣的技術(shù)來(lái)避免這一危害，也取得了不錯的成就，但仍然存在一些缺憾。
眾所周知，我國是個(gè)制造業(yè)生產(chǎn)的大國，其中電子工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)在我國也是比較多的，因此我國電子工業(yè)廠(chǎng)房也就發(fā)展的比較迅速，并且目前很多企業(yè)管理者都已經(jīng)意識到了電子工業(yè)廠(chǎng)房的環(huán)境對于電子產(chǎn)品的生產(chǎn)的重要意義，也就采取了很多的措施。
目前我國針對電子工業(yè)廠(chǎng)房的環(huán)境進(jìn)行的管理主要采取的是分區進(jìn)行的，也就是在不同的分區采取不同的措施來(lái)進(jìn)行管理。我們先來(lái)看下廠(chǎng)房的分區，主廠(chǎng)房的一側為辦公區，共三層：一層為大廳、一次更衣室等，二層為潔凈更衣室、潔凈服清洗等潔凈廠(chǎng)房的輔助房間，三層為辦公區；主廠(chǎng)房另一側為工藝生產(chǎn)區，根據生產(chǎn)工藝及建設期不同可分為五個(gè)區域，其中三個(gè)區域有防微振要求，采用典型的三層結構方式，即下夾層、工藝生產(chǎn)區及上夾層；另外還有一個(gè)區域為預留工藝區，樓板下沉600mm，架設回風(fēng)隔柵地板；最后一個(gè)區域區域為普通凈化生產(chǎn)區。五個(gè)區域凈化方式各不相同，下面分別進(jìn)行介紹：第一個(gè)區域為一期工程中除光刻外的其它工藝區，主要包括清洗、刻蝕、外延、氧化擴散、離子注入等工序，工藝生產(chǎn)區平面布局為傳統的海灣式，即工藝設備放在灰區（或稱(chēng)為后區），操作面設在前區。前區潔凈度要求6 級，灰區為7級。當時(shí)資金非常緊張，所以采用傳統的凈化空調方式，即新、回風(fēng)混合后經(jīng)初、中效過(guò)濾器過(guò)濾，溫濕度處理后經(jīng)風(fēng)機加壓，再經(jīng)過(guò)設在吊頂上的高效過(guò)濾器送風(fēng)口過(guò)濾后送入室內，通過(guò)回風(fēng)隔柵地板、下技術(shù)夾層回風(fēng)?？照{器采用臥式組合式空調器，集中設置在空調機房?jì)?。通?？照{系統是根據生產(chǎn)工藝流程并且就近來(lái)進(jìn)行系統劃分，但在此項目中不適用。工藝設備發(fā)熱量大部分集中在灰區， 前區發(fā)熱量很小，而前區的潔凈級別高，潔凈風(fēng)量大，所需的送風(fēng)溫差很小。相反的，灰區潔凈級別相對較低，滿(mǎn)足潔凈度要求所需潔凈風(fēng)量相對較小，為消除工藝設備發(fā)熱量，在溫濕度允許的范圍內，盡可能加大送風(fēng)溫差。經(jīng)過(guò)計算，外延前區、氧化擴散前區、離子注入前區劃為一個(gè)系統，送風(fēng)溫差為2.2C；而外延后區、氧化擴散后區、清洗灰區、離子注入后區劃為一個(gè)系統，送風(fēng)溫差為l0C。這樣來(lái)劃分系統，最大限度地節省冷量及用電量。但相鄰的房間不是一個(gè)系統，一個(gè)系統的幾個(gè)房間分散開(kāi)很遠的距離， 勢必造成管道交叉增多，給設計及施工增加難度。第二個(gè)區域為光刻間，潔凈級別為5 級，上夾層為送風(fēng)靜壓箱， 吊頂由風(fēng)機過(guò)濾器單元（FFU）+金屬吊頂框架組成，地面為架空回風(fēng)隔柵地板， 安裝在防微振平臺上，保證生產(chǎn)區的垂直單向流。光刻間面積為450m2，一期工程實(shí)施l60m2，工藝設備發(fā)熱及圍護結構、人員、照明等計算得出實(shí)際需要的消除余熱量很小?？紤]投資因素，沒(méi)有采用干冷卻盤(pán)管消除余熱的方式，而是選用一臺組合式空調器，采用類(lèi)似于二次回風(fēng)系統的方式， 即部分循環(huán)風(fēng)回到空調器，與經(jīng)初中效過(guò)濾后的新風(fēng)混合，經(jīng)表冷段、加熱段、加濕段及風(fēng)機加壓，送到上夾層， 以保證房間的溫濕度要求。這種做法可減少二次冷凍水循環(huán)系統的投資，并使日常的運行管理簡(jiǎn)單化，在當時(shí)情況下合理可行。第三區域為二期工程的工藝生產(chǎn)區，包括清洗、離子注入、CVD、刻蝕等工序，2003 年開(kāi)始設計并實(shí)施。工藝生產(chǎn)區平面布局仍為海灣式，但與一期工程相比， 工藝設備對環(huán)境要求提高，前區潔凈度提高到5 級，灰區仍為7級。近兩年，國內IC 廠(chǎng)房建設項目如雨后春筍，操作區潔凈級別為5 級或更高，所以國內市場(chǎng)FFU用量大增，使得價(jià)格很快下降到業(yè)主可以接受的范圍， 所以二期工程采用FFU+新風(fēng)系統的方式。FFU的個(gè)數根據凈化級別要求及負荷計算確定。IC 廠(chǎng)房生產(chǎn)過(guò)程中散濕量很小，可忽略不計，新風(fēng)集中處理，由室內濕度敏感元件控制新風(fēng)機組的表冷器上的電動(dòng)閥和蒸汽加濕器的電動(dòng)執行機構，滿(mǎn)足房間的濕度要求。房間的溫度由設在下夾層的干冷卻盤(pán)管保證。循環(huán)風(fēng)經(jīng)干冷卻盤(pán)管冷卻后與處理后的新風(fēng)混合，進(jìn)入上部送風(fēng)靜壓室，經(jīng)FFU 加壓、過(guò)濾后送入生產(chǎn)區，其氣流流程為：回風(fēng)!干冷卻盤(pán)管!和新風(fēng)混合!FFU!生產(chǎn)區!回風(fēng)格柵地板!回風(fēng)。干冷卻盤(pán)管的水管上設電動(dòng)閥，由相應房間的溫度敏感元件控制。第四個(gè)區域為預留工藝區，空氣處理過(guò)程與上一區域相同，區別在于沒(méi)有下夾層，干冷卻盤(pán)管只能設在上夾層。為防止干冷卻盤(pán)管或管路漏水，需加裝滴水盤(pán)，給安裝、維護帶來(lái)麻煩。最后一個(gè)區域一期實(shí)施時(shí)為蒸發(fā)、合金間及磨片間，凈化級別為6 級，后因甲方工藝調整放置外延爐，要求在原有空調器不更換的條件下進(jìn)行改造，操作面達到5 級，溫濕度要求為23 2C，45 10%； 灰區盡可能達到7 級， 溫濕度要求為18~28C，40~70%。經(jīng)過(guò)核算，原有空調機能力剛好能滿(mǎn)足前區的凈化風(fēng)量，所以建議甲方采用翻轉式凈化方式，即前區與灰區之間的隔墻下部設固定百葉風(fēng)口，潔凈風(fēng)全部送到前區，滿(mǎn)足前區的溫濕度及潔凈度要求，再通過(guò)百葉風(fēng)口到灰區，消除房間余熱后，由吊頂上百葉風(fēng)口回到空調機。這種做法不能保證灰區的溫度，只能用在灰區要求不嚴格的情況。
潔凈實(shí)驗室的裝飾要求
淺談凈化工程中潔凈室等級百級、千級、萬(wàn)級、十萬(wàn)級的劃分標