摘要：隨著(zhù)技術(shù)水平的推廣，無(wú)塵環(huán)境被廣泛的運用在各行各業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程中，以保證產(chǎn)品的零污染高質(zhì)量要求。 　　 　　關(guān)鍵詞：潔凈室；FFU（風(fēng)機過(guò)濾組合）；HEPA（高效過(guò)濾器） 
　　 
　　潔凈室(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。 
　　 
　　一、潔凈室管控項目 
　　正如前面潔凈室的定義所講，潔凈室不單要對塵埃粒子的占有量進(jìn)行要求， 
　　而且對整個(gè)環(huán)境等的相關(guān)因素進(jìn)行管控，具體項目如下： 
　　1.能除去空氣中飄游之微塵粒子；2.能防止微塵粒子之產(chǎn)生 
　　3.溫度和濕度之控制；4.壓力之調節 
　　5.有害氣體之排除；6.結構物與隔間之氣密性；7.靜電之防制；8.電磁干擾預防；9.安全因素之考慮。 
　　10.節能之考量 
　　 
　　二、潔凈室凈化等級劃分標準 
　　世界各國均有自定行的定義規格，但目前比較普遍通用的還是美國聯(lián)邦標準209E和日本采用公制以每立方公尺為單位的ISO標準。 
　　209E標準中潔凈室等級以“M”字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類(lèi)推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數字是以每立方公尺中≥0.5μm之微塵粒子的數目以10的冪次方表示，取其指數表示。若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5等表示。 
　　日本在209E標準的基礎上采用公制單位，即以每立方公尺為計數單位的ISO標準。以0.1μm微粒子為計數標準，表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class9表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 9。 
　　 
　　三、潔凈室分類(lèi) 
　　按照潔凈室的架構不同而分為紊流式、層流式、復合式三種。 
　　1.紊流式 
　　空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 
　　優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。 
　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。 
　　2.層流式 
　　空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由對立面的地板或隔墻板排風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為100以下。 
　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 
　　缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。 
　　3.復合式 
　　復合式為將紊流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 
　　 
　　四、潔凈室氣流之流動(dòng) 
　　潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素趨于混亂。 
　　1.氣流速度數值在0.2~0.52m/s之間，屬微風(fēng)區域，易受人、機器動(dòng)作的干 
　　擾趨于混亂。雖提高風(fēng)速可抑制此干擾，但因風(fēng)速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿(mǎn)足要求的潔凈度水準之時(shí)，以最適當的風(fēng)速供應，達到經(jīng)濟性效果。 
　　2.換氣次數（氣流速度的展現） 
　　 凈化等級與換氣次數的對應關(guān)系： 
　　 100級 ≥360次/h 
　　 1000級 ≥150次/h 
　　 10000級 ≥25次/h 
　　 100000級 ≥15次/h 
　　 
　　五、潔凈室塵埃測量標準 
　　潔凈室塵埃測量需按照如下要求進(jìn)行： 
　　1.靜態(tài)測量 
　　環(huán)境自?xún)?0min后，方可測量 
　　2.測量點(diǎn)選擇 
　　在距離地板最少1.2m處測量（即在所需的工作臺面上測量） 
　　3.風(fēng)機及Hepa檢驗時(shí)（風(fēng)速、塵埃數量） 
　　在Hepa下方3cm處取其四角、中心五點(diǎn)進(jìn)行檢驗 
　　 
　　六、潔凈室的保養 
　　潔凈室屬于一套自帶獨立功能的復雜設備，正如其他自動(dòng)化設備一樣，同樣需要定期、如時(shí)的保養維護。只有維護保養到位，其凈化功能才能淋漓盡致的發(fā)揮，最終達到使用者對環(huán)境質(zhì)量預期的管控效果。潔凈室的保養主要涉及以下內容： 
　　1.高效過(guò)濾器的功效檢查及保養 
　?。?）泄露測量/季。在過(guò)濾器下方3cm左右處進(jìn)行塵埃顆粒量測，含及整個(gè)過(guò)濾面，逐行量測。 
　?。?）壓損測量/季。壓損即指風(fēng)機排出的氣流經(jīng)高效過(guò)濾（阻塞）后的損失。 
　　2.初效過(guò)濾器的維護保養 
　　初效過(guò)濾器是FFU組合中的第一道濾網(wǎng)，也是室外空氣進(jìn)入潔凈室的第一道關(guān)口。過(guò)濾等級一般在30~65%左右，就是否可以進(jìn)行“清洗保養/季”還是“直接更換/季”要依實(shí)際的現場(chǎng)狀況來(lái)定。 
　　3.風(fēng)機功能檢查及保養 
　?。?）運轉有無(wú)異音能 ；（2）指示燈工作是否正常；（3）風(fēng)葉的清潔/周。 
　　4.各參數的權重 
　　對于一套FFU，功效的完好與否就取決于以上各參數的數值，但各個(gè)參數的 
　　重要性還是有差異的，具體權重可參考如下，由高到低：風(fēng)速、過(guò)濾效率、壓損、泄漏。 
　　結局語(yǔ)： 
　　我們要判斷一個(gè)潔凈室的凈化質(zhì)量不能簡(jiǎn)單的從某一個(gè)參數來(lái)說(shuō)明，要在確認凈化等級的前提下橫向縱向進(jìn)行比較論證，反復的進(jìn)行試驗性驗證，方可得出正確的結論，即各設備是否工作狀態(tài)良好，或有的放矢的對問(wèn)題設備進(jìn)行處理。