摘 要：筆者參照液晶顯示器面板制造潔凈廠(chǎng)房的實(shí)際特征，針對高空間、大面積以及FFU數量巨大的電子工業(yè)潔凈室工程性能參數的實(shí)際檢測方式進(jìn)行了相應的分析和探究，通過(guò)數據檢測的方式來(lái)完成實(shí)驗任務(wù)，經(jīng)過(guò)論證、實(shí)驗和對比分析之后，對潔凈廠(chǎng)房的檢測方式進(jìn)行了分析，同時(shí)可以提高工作效率，保證檢測質(zhì)量，縮短檢測時(shí)間，促使最終的檢測結果更具精準度。 

　自從進(jìn)入到二十一世紀以來(lái)，我國的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平就在不斷提提高，隨之而來(lái)電子工業(yè)的發(fā)展腳步也隨之加快，集成電路芯片制造以及液晶顯示面板制造生產(chǎn)廠(chǎng)家的運作和發(fā)展也趨于成熟，高世代的TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)中涵蓋著(zhù)8.5代生產(chǎn)線(xiàn)國內已經(jīng)有數十條生產(chǎn)線(xiàn)正在處于建設過(guò)程中，特別是12英寸的晶圓生產(chǎn)線(xiàn)有多條已經(jīng)建成，同時(shí)投入到生產(chǎn)之中，正式生產(chǎn)工藝的實(shí)際特征，導致這類(lèi)的生產(chǎn)用潔凈廠(chǎng)房的實(shí)際需求度是極高的，此時(shí)，就需要對廠(chǎng)房的潔凈程度予以全方面的檢測，筆者基于此問(wèn)題進(jìn)行了分析和歸納。 

　　1 對于潔凈廠(chǎng)房檢測參數和技術(shù)指標的分析 
　　電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房環(huán)境參數可以直接給產(chǎn)品的良品率帶來(lái)極大的影響，確保潔凈室之內動(dòng)態(tài)環(huán)境下和靜態(tài)環(huán)境下的每一項餐參數都應當符合設計的內容需要，通常情況下，電子潔凈廠(chǎng)房對于各類(lèi)參數的要求都是極為嚴格的，比如，對于排氣量、新風(fēng)量、工藝排氣、FFU安裝檢漏、溫濕度、照度、靜壓差、防靜電、FFU風(fēng)速、潔凈度等級、噪聲以及氣流流型等因素的控制需求都是極其嚴格和嚴謹的，不僅如此，還有其中的超純水測試以及超純氣體測試都是必要的，筆者對潔凈室的參數測試方式進(jìn)行了相應的分析，以某8.5液晶面板生產(chǎn)線(xiàn)的彩膜和成盒廠(chǎng)房為例進(jìn)行探討，對其實(shí)際測試參數和相關(guān)技術(shù)指標予以闡述[1]。 
　　2 對于FFU面風(fēng)速測試方式的分析 
　　FFU面風(fēng)速測試過(guò)程中，需要結合相關(guān)的技術(shù)標準《潔凈廠(chǎng)房施工及質(zhì)量驗收規范》GB51110及ISO14644-3中的內容要求，在對過(guò)濾網(wǎng)予以測試時(shí)，需要在過(guò)濾網(wǎng)的1.5分米的位置應用多點(diǎn)風(fēng)速儀或是單點(diǎn)風(fēng)速儀在網(wǎng)面之上合理的布置測試點(diǎn)，每一點(diǎn)的均值都應當是過(guò)濾網(wǎng)面的風(fēng)速值。在實(shí)施檢測工作的過(guò)程中，因為液晶顯示面板潔凈廠(chǎng)房的凈高較高，測試工作的落實(shí)需要利用移動(dòng)式升降機亦或是長(cháng)桿的作用，落實(shí)檢測工作，但是它的檢測效率相對較差，同時(shí)高空作業(yè)也會(huì )具有一定程度的安全隱患，不僅如此，受到建設工期的限制和制約，測試工作量的巨大也會(huì )導致測試時(shí)間相應的增加，如果想要在規定時(shí)間之內完成檢測任務(wù)，那么就會(huì )導致時(shí)間過(guò)緊，此時(shí)的產(chǎn)品投入到工藝運作生產(chǎn)之中，將會(huì )致使井字架或是升降機難以正常運行，風(fēng)速測試工作的落實(shí)也會(huì )層層受阻[2]。 
　　基于此，實(shí)際的測試工作落實(shí)之后，需要將其移動(dòng)到技術(shù)夾層之內，應用電子式風(fēng)量罩來(lái)對FFU風(fēng)機側進(jìn)風(fēng)予以檢測，如果將其換位過(guò)濾網(wǎng)來(lái)完成風(fēng)速值的測試工作，亦或是將風(fēng)量罩之上設置相應的尺寸，對過(guò)濾網(wǎng)的風(fēng)速予以讀出，想要使測試更為精準，可以通過(guò)對比實(shí)驗的方式，來(lái)提高測量的精準度和科學(xué)性，可在1.2米*1.2米的截面之上取四個(gè)點(diǎn)，與此同時(shí)，可以在FFU之上的風(fēng)側之上的技術(shù)夾層之中的風(fēng)機側，借助風(fēng)量罩來(lái)完成測量任務(wù)，而后完成數據的讀取，從首次的測量數據讀取過(guò)程中，可知風(fēng)量罩以及多點(diǎn)風(fēng)速儀的測試都會(huì )體現出一定的誤差，這就顯示了FFU風(fēng)機測量實(shí)際的進(jìn)風(fēng)量，此測量方式具有一定的可行性?；蚩墒褂昧Ｗ蛹夹g(shù)方式來(lái)完成FFU泄漏檢測任務(wù)[3]。 
　　粒子技術(shù)方法的實(shí)施，實(shí)際的影響因素主要有兩個(gè)，其一為測量用塵源，其二為上方塵源濃度?；趬m源這一問(wèn)題，已經(jīng)有技術(shù)標準來(lái)對其予以規范，我國國內大多都使用人工塵源的方式，比如，有PAO、DEHS、DOP以及PSL等，而筆者經(jīng)過(guò)分析之后，認為潔凈廠(chǎng)房對于潔凈度的需求等級為ISO，以及五級混合流潔凈室的FFU檢泄漏檢測，所應用的大氣塵源大多能夠符合塵源檢測的粒徑或是濃度需要，同時(shí)人工塵源檢測也具有較大的優(yōu)勢，體現出小批量生產(chǎn)中對于空氣過(guò)濾器泄露檢測的精準度，具有一定的穩定性，另外，檢測時(shí)間以及費用等也可以被接受。 
　　如果空氣過(guò)濾器的數量較為巨大，那么，將會(huì )極其繁雜，不僅費時(shí)費力，同時(shí)它的實(shí)際可操作性能也極差，特別是受到時(shí)間成本的影響，如若此時(shí)應用大氣塵作為塵源，此時(shí)的測量方式將會(huì )相對較為便捷，檢測過(guò)程中，僅僅需要在區域范圍內引入一定的風(fēng)量，同時(shí)可以在過(guò)濾器之上的位置實(shí)施取樣測試，最終確定塵源的濃度，而其他的操作都應當在過(guò)濾網(wǎng)的下方來(lái)完成。 
　　結合相關(guān)的技術(shù)規范需要，應當對采樣流量的規定內容，以及采樣頭的尺寸以及速率等，保證規格為1200*1200的FFU測試時(shí)間超出五分鐘的范圍，確保一個(gè)測試人員、測試的機器以及儀器設備等都可以符合測量需要。 
　　3 對于溫濕度的測試方式分析 
　　電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房溫濕度精度要求，溫濕度的精度應當控制在±0.5攝氏度的范圍之內，而濕度精度則應當控制在±5%，此時(shí)需要參照有關(guān)的技術(shù)標準，對溫濕度進(jìn)行合理的設置，對測試點(diǎn)的數量和位置予以確定，將測量點(diǎn)控制在150點(diǎn)左右，實(shí)現均勻的分布，這樣將會(huì )使測試結果更具針對性，更能對室內的情況予以全方位的展現。 
　　4 結束語(yǔ) 
　　綜上所述，電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房對于潔凈度的需求是極高的，此時(shí)就需要借助高精準度的檢測方式，確保測量結果的準確程度，提高檢測質(zhì)量。