為什么電子廠(chǎng)的無(wú)塵車(chē)間需要恒溫恒濕？
四川華銳凈化 2019-07-24 10:20:13 閱讀
隨著(zhù)人們生活質(zhì)量的提高，對其生產(chǎn)質(zhì)量的要求也越來(lái)越嚴格。電子工廠(chǎng)等行業(yè)無(wú)塵車(chē)間建設規劃中的靜電控制主要分為兩類(lèi):高濕度實(shí)際上減少了無(wú)塵車(chē)間和潔凈室表面的靜電積累，這是理想的結果。較低的濕度更適合電荷的積累，并成為潛在的破壞性靜電放電源。
相對濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但相對濕度不足30%時(shí)，可長(cháng)時(shí)間持續存在于絕緣體或未接地的表面。
相對濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿(mǎn)意的折中，半導體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。很多化學(xué)反應的速度，包括腐蝕過(guò)程，將隨著(zhù)相對濕度的增高而加快。所有暴露在無(wú)塵車(chē)間、潔凈室周?chē)諝庵械谋砻娑己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應;但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護能力的，因此，在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。
總結電子行業(yè)無(wú)塵車(chē)間溫濕度的控制主要在于其生產(chǎn)工藝的要求。
在精密機械加工和計量等場(chǎng)合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，必須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動(dòng)幅度應根據加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長(cháng)500mm的標準尺刻線(xiàn)，工藝允許線(xiàn)間公差為2um，其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線(xiàn)膨脹系數，取10／um／(m?K)；l為尺長(cháng)，m]，故工件溫度變化需在以?xún)取?/div>
但由于工件測量?jì)x器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動(dòng)傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時(shí)，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據，故相應的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數和選擇自動(dòng)控制時(shí)，必須考慮工件恒溫恒濕車(chē)間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動(dòng)態(tài)特性。
在電子行業(yè)制造車(chē)間是最重要產(chǎn)生靜電的地方，通常靜電會(huì )對產(chǎn)品造成短路甚至會(huì )造成員工導電暈倒事故，所以電子行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議無(wú)塵車(chē)間的防靜電區域相對濕度不低于50%。過(guò)于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間無(wú)特殊要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種環(huán)境下，人們感覺(jué)舒適，靜電也消失了。
首先主要是為了錫膏能工作在一個(gè)較好的環(huán)境，溫度會(huì )影響錫膏的活性，對于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。溫度高會(huì )增加其的活性，最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現虛焊，焊點(diǎn)不光澤等現象。濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過(guò)吸如過(guò)多水氣，會(huì )使回流時(shí)產(chǎn)生氣空，飛漸，連焊等現象。故SMT恒溫恒濕車(chē)間溫濕度標準:溫度:24±2℃濕度:50±10%。
在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì )結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì )引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。
因此，無(wú)塵車(chē)間的溫濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度也取決于房間的大小，如計量室、光柵雕刻室、精密儀器制造和裝配車(chē)間等。前兩個(gè)是小房間，空調精度高(這里主要指溫度和濕度)。后兩種是對溫濕度精度要求較低的大型生產(chǎn)車(chē)間，因此房間大小也將決定恒溫恒濕車(chē)間的精度。
凈化工程要想長(cháng)期保持潔凈室的潔凈度請看下文!
無(wú)塵車(chē)間潔凈度等級標準及布局、溫濕度相關(guān)要求