凈化車(chē)間，也可以稱(chēng)為凈化車(chē)間或清凈室。它是污染控制的基礎。沒(méi)有凈化車(chē)間，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么凈化車(chē)間是由哪幾部分組呢？

一、凈化車(chē)間共有五部分組成：

1、隔間

凈化車(chē)間隔間分為三大部分,更衣室,千級區和百級區,更衣室與千級區,千級區和百級區均設風(fēng)淋室(airshower),凈化車(chē)間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進(jìn)入凈化車(chē)間時(shí),首先要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車(chē)間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進(jìn)行吹淋,達到落塵的效果。

2、風(fēng)系統風(fēng)系統流程圖

系統采用的是全新風(fēng)空調箱+FFU 系統：

<1>全新風(fēng)空調箱結構

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機和過(guò)濾器

千級區過(guò)濾器采用HEPA,過(guò)濾效率99.997%,百級區過(guò)濾器采用ULPA,過(guò)濾效率99.9995%。

3、水系統水系統流程圖

冰水系統分為一次側和二次側.

一次側冰水水溫7-12 度,供給空調箱和風(fēng)機盤(pán)管,二次側冰水12-17度供給干盤(pán)管系統.一次側冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理

干盤(pán)管:不結露的盤(pán)管,因凈化車(chē)間溫度在22 度,其露點(diǎn)溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進(jìn)入凈化車(chē)間,所以進(jìn)干盤(pán)管的冰水溫度在12-14 度.

4、控制系統(DDC)溫度:干盤(pán)管系統控制

濕度:空調箱調節通過(guò)感測的信號,控制三通閥開(kāi)度來(lái)調節空調箱盤(pán)管進(jìn)水量。

正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動(dòng)調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進(jìn)入室內的新風(fēng)量。

5、其他系統

不只是空調系統,凈化車(chē)間系統中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統,制程排氣系統,檢測標準：

1、氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是凈化車(chē)間效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流凈化車(chē)間工作區的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統或房間的風(fēng)量檢測。

3、室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。

4、自?xún)魰r(shí)間的檢測。通過(guò)確定自?xún)魰r(shí)間，查明潔凈室內部發(fā)生污染時(shí)恢復其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動(dòng)的檢測。振動(dòng)檢測的目的是為了判明凈化車(chē)間各表明的振動(dòng)幅度。

9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測凈化車(chē)間的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度，檢測凈化車(chē)間中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。

10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。

二、凈化車(chē)間凈化工程的工作流程是怎樣的

無(wú)塵凈化工程對車(chē)間有明確的要求，為了滿(mǎn)足需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量，要對車(chē)間的環(huán)境、人員、設備和生產(chǎn)過(guò)程等進(jìn)行控制。車(chē)間的管理，包括對車(chē)間工作人員、物料以及設備、管線(xiàn)管理。對車(chē)間工作人員工作服的制作，車(chē)間的清洗。室內設備及裝修材料的選擇和清掃、滅菌等，防止車(chē)間內塵粒、微生物的產(chǎn)生。設備、設施的維護管理，制定相應的操作規范，保證設備按要求運轉，包括凈化空調系統，水氣電系統等，確保生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級。對車(chē)間內設施的清掃、滅菌，防止車(chē)間內微生物的滯留、繁殖等。為了更好地做好無(wú)塵凈化工程，就需要從無(wú)塵車(chē)間著(zhù)手。

無(wú)塵凈化工程的主要工作流程：

1.策劃：了解客戶(hù)的需求，確定合理的方案;

2.初步設計：根據客戶(hù)的情況，進(jìn)行項目的設計;

3.方案交流：與客戶(hù)交流初步設計方案并做調整;

4.商務(wù)洽談：根據確定的方案，洽商工程造價(jià)及簽訂合同;

5.施工圖設計：將初步設計方案確定為施工圖設計;

6.工程：按照施工圖進(jìn)行施工;

7.調試檢測：依據驗收規范及合同要求，進(jìn)行調試及檢測;

8.竣工驗收：進(jìn)行竣工驗收并交付客戶(hù)使用;

9.維護服務(wù)：承擔責任，并提供保修期后的服務(wù)。

三、什么是凈化車(chē)間(Clean Room):

用通俗易懂的語(yǔ)言來(lái)描述的話(huà),凈化車(chē)間就是在某個(gè)空間的空氣中塵埃、微粒子控制在一定數值以下,把壓力、溫度、濕度、氣流分布及其形狀和速度控制在一定范圍內為目的而建造的屋子.

什么是潔凈度(Class):就是指單位體積( 通常是立方英尺) 的空氣中含有大于、等于0.5μm 直徑的塵粒的數量,也稱(chēng)為無(wú)塵度。

什么是塵粒:

塵粒是微小的灰塵、懸浮的東西.

塵粒越小,其表面積的比例相對增加,并不遵從牛頓定律運動(dòng),按重力垂落.而是在空氣中做不規則的運動(dòng),這種運動(dòng)叫布朗運動(dòng).

因是懸浮的東西,而且做不規則的運動(dòng),在潔凈化技術(shù)、產(chǎn)品制造中是令人頭痛的代表物.

總之,塵粒會(huì )對產(chǎn)品成品率高低影響至關(guān)重要.如:電腐蝕現象。

凈化車(chē)間的原理：

通過(guò)空調系統和凈化裝置把空氣進(jìn)行調濕、調溫和過(guò)濾,然后把凈化的空氣通過(guò)凈化車(chē)間的高效過(guò)濾器送入到凈化車(chē)間內,達到潔凈等級的標準.

通常: 溫度: 22℃±3 ℃;濕度:55%±5%.包括:

1.空氣調節系統;

2.2. 空氣凈化系統.

凈化車(chē)間的類(lèi)型：

按潔凈度和氣流的狀態(tài)的組合可以分為三種方式:

1.紊亂式凈化車(chē)間;

2.水平平行流式凈化車(chē)間;

3.垂直平行流式凈化車(chē)間

凈化車(chē)間的類(lèi)型：

通過(guò)凈化車(chē)間屋頂的高效過(guò)濾器出口向屋內送風(fēng).通過(guò)墻壁的排氣口回風(fēng)，以玻璃纖維為主

體的制成的高效過(guò)濾網(wǎng)。

凈化車(chē)間的原則：

1.、杜絕把灰塵帶入凈化車(chē)間;

(一).空氣:

(1).通過(guò)過(guò)濾網(wǎng)凈化空氣:

常用的過(guò)濾網(wǎng):玻璃纖維和玻璃石棉等. 玻璃纖維:能過(guò)濾0.3 m 的懸浮塵粒,

甚至達到0.04 m 的懸浮塵粒;過(guò)濾效果:99.99%

玻璃石棉:根據石棉的的直徑大小決定;

例:1m的石棉過(guò)濾1 m 的塵粒.

2、進(jìn)入凈化車(chē)間必須穿著(zhù)無(wú)塵衣.

不得使用容易產(chǎn)生灰塵的材料、設備、備品等.使用凈化車(chē)間用品.(無(wú)塵紙、無(wú)塵本、圓珠筆等)減少沒(méi)必要的人員的活動(dòng)、設備的運轉.制定設備的擺放結構設計方案.沒(méi)必要的物品禁止帶入到凈化車(chē)間.凈化車(chē)間中禁止脫無(wú)塵衣.凈化車(chē)間內物品數量限制在最少的限度.物品擺放作出規定,減少空氣亂流.

四、凈化車(chē)間吸塵器的吸塵原理及基本結構

吸塵器的清潔原理是借助吸氣作用，從地板、地毯、墻壁、家具及其它不易用掃帚清除污垢的表面吸走灰塵和干的贓物，如線(xiàn)、紙屑、頭發(fā)等。它的主要部件是真空泵、過(guò)濾袋、軟管、延長(cháng)管及各種形狀的不同管嘴?，F代的在附件上變化多樣，為清除地毯污物設計出了粗毛刷、細毛刷、轉動(dòng)毛刷，清理墻角用的是扁形管嘴、清理地析板用磨光刷等。

第一層過(guò)濾/紙袋（丟棄式）：4gallons(15L)能有效的收集處理可目視粉塵。

第二層過(guò)濾/加大的布質(zhì)過(guò)濾器（可洗式）：可以保護并延長(cháng)HEPA 過(guò)濾器的壽命。

第三層過(guò)濾/馬達保護套：深層過(guò)濾，可以保護馬達使用壽命。

第四層過(guò)濾/HEPA 或ULPA 過(guò)濾器：

HEPA 可有效過(guò)濾0.3um 微塵達99.99%，適合用在較細微的過(guò)濾。HEPA 全部經(jīng)過(guò)激光塵埃粒子計數器的檢測。ULPA 可以有效過(guò)濾99.999%的0.12um（相當于人類(lèi)頭發(fā)直徑的1/960）d大小的粉塵，適用于CLASS1-10級無(wú)塵凈化環(huán)境，國家航天局指定專(zhuān)用吸塵器。

相信懂得凈化車(chē)間吸塵器的應該比較熟悉了吧，這樣的過(guò)濾系統用在百級和千級凈化車(chē)間車(chē)間里面是不成問(wèn)題的。

五、凈化車(chē)間與普通的房間在結構上究竟有什么區別呢？

通常凈化車(chē)間的氣流設計工藝為單向氣流，凈化車(chē)間內生產(chǎn)設備的設計和擺放應充分考慮到氣流的方向不被阻礙：既然是潔凈室，顧名思義它就是為了控制污染源，提高產(chǎn)品潔凈度而設計的高潔凈度生產(chǎn)車(chē)間。造成污染源的因素有很多，而人的因素是污染的最大源頭，所以對人的行為等控制相對也會(huì )嚴格一些，當然其它因素也是不容忽視的?？偠灾?，它只是比普通環(huán)境更加干凈的工作車(chē)間，并不會(huì )對人體造成任何威脅，要保證潔凈室的環(huán)境必須進(jìn)行全方位控制，僅靠硬件工作是不夠的，外來(lái)的污染源頭也是我們在凈化車(chē)間環(huán)境污染控制的重中之重！通過(guò)以上介紹希望大家能對凈化車(chē)間有個(gè)正確的理解，在這樣的環(huán)境下進(jìn)行工業(yè)化生產(chǎn)，是一種必然的發(fā)展趨勢。

六、認識凈化車(chē)間照明燈的基本原理

凈化車(chē)間的照明原理是提供可見(jiàn)度，它與空氣供應系統和降低污染相協(xié)調的正確照明度，是凈化車(chē)間設計結構中不可或缺的組成部分。凈化車(chē)間的照明會(huì )根據室內的使用，等級的分類(lèi)和天花板上空氣供應的結構而發(fā)生改變，照明系統一定要提供良好的能見(jiàn)度，將污染控制把電磁場(chǎng)的產(chǎn)生與潔凈度的設計考慮進(jìn)去。

對于凈化車(chē)間的構造來(lái)講，照明燈具的成本不會(huì )超過(guò)總預算的1%，而照明的能源成本與凈化車(chē)間的hvac以及制程設備的功率需要相比較可以說(shuō)是很小的，因此凈化車(chē)間的照明焦點(diǎn)便變成適當的照明度，與空氣供應系統相互協(xié)調，同時(shí)對安裝在該空間內特定的環(huán)境與制程的污染降低。很多凈化車(chē)間的表面具有很高的反射性，大部分的天花板，墻面，地板表面均光鮮亮麗，盡管這樣，材料顏色的選擇仍在考察中，便于改善使用者的環(huán)境。在凈化車(chē)間的設計結構中，照明系統使用常見(jiàn)的是熒光燈，因其能源效率高，使用壽命長(cháng)，維護成本低，

經(jīng)常使用到。熒光燈在紫外線(xiàn)光譜內產(chǎn)生一定能量，對于一些凈化車(chē)間內的制程是有害的，過(guò)濾UV 可以使用燈罩遮蔽，但是這種遮蔽會(huì )轉換成可見(jiàn)光至黃色，雖然這種遮蔽僅能降低10%到20%照明度，但由于顏色的偏差，所察覺(jué)到的照明度看起來(lái)比較少。照明燈內需要安定器來(lái)來(lái)產(chǎn)生燈泡所需要的啟動(dòng)電壓與操作電流，使用在安定器的技術(shù)為電磁式和電子式。

等某一空間需要過(guò)濾器與照明時(shí)，可以將嵌入式燈具與hepa空氣過(guò)濾器合并在一起，這種器具經(jīng)常使用在小型且已預制好的凈化車(chē)間內，這種器具為嵌入式，有開(kāi)放的頂部和一個(gè)替代燈罩的巧克力制百葉，同時(shí)用于作為照明照明燈具與空氣輸送模塊。為了防止天花板上照明與空氣過(guò)濾器空間需求的沖突，同時(shí)作為淚滴型燈具的變通方式，制造業(yè)已發(fā)展出模塊式的天花板系統，具有內建在格架通道內的整合照明，這些系統允許層流氣流不受到影響。污染控制是凈化車(chē)間設計結構的主要目標，任何帶有進(jìn)入凈化車(chē)間的潛在污染源要嚴格清除使其控制在一定范圍內，照明燈具要進(jìn)行污染評估檢測。

七、凈化車(chē)間的等級和含義

凈化車(chē)間是對空間內空氣中的微粒做到控制，所構造的特殊封閉性建筑?？傮w來(lái)說(shuō)，凈化車(chē)間也會(huì )對溫濕度、氣流運動(dòng)模式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境因素做控制。凈化車(chē)間對等級的不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量有一定規范，在國際標準中分為ISO-14644，ISO-14644的等級定義。這里所指的微粒塵埃是肉眼無(wú)法看見(jiàn)的灰塵及粒子，一般空氣清凈機無(wú)法完全清除之灰塵。凈化車(chē)間一般分為電子、精密工業(yè)用（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用。

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在JIS 標準中，凈化車(chē)間清潔度，分8 個(gè)等級，通常清潔度是指空氣的潔凈等級，分為1到8 個(gè)階段。在1 立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10 個(gè)以下時(shí)為1；百個(gè)以下是100=102 是等級2；千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級3，以此類(lèi)推。21 世紀，尖端科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結構的變革，凈化車(chē)間設立的必要性也相對地提高。產(chǎn)品逐漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對產(chǎn)品的完成度同樣造成極大的危害，導致品質(zhì)下降，隨著(zhù)產(chǎn)品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無(wú)塵化的要求也越來(lái)越高。因此在凈化車(chē)間中用防塵材料及產(chǎn)品都顯得非常重要。凈化車(chē)間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著(zhù)集成電路的級數的快速成長(cháng)，也增加了對制造環(huán)境(凈化車(chē)間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導體關(guān)鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當金屬塵粒落到金屬導線(xiàn)時(shí)，就可能會(huì )使金屬導線(xiàn)形成短路。所以?xún)艋?chē)間為集成電路制造必不能少的因素。

八、無(wú)車(chē)室的用途分類(lèi)

⑴、工業(yè)凈化車(chē)間

——以無(wú)生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)（半導體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。

⑵、生物凈化車(chē)間

主要控制有生命微粒（細菌）與無(wú)生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為；

A、一般生物凈化車(chē)間，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時(shí)其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)凈化車(chē)間。例：制藥工業(yè)、醫院（手術(shù)室、無(wú)菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗室、理化檢驗室、血站等。

B、生物學(xué)安全凈化車(chē)間：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）。

九、凈化車(chē)間與潔凈室是一樣的嗎

凈化車(chē)間(Clean Room)，亦稱(chēng)為凈化車(chē)間或清凈室。它是污染控制的基礎。沒(méi)有凈化車(chē)間，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2 里面，凈化車(chē)間被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。凈化車(chē)間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。潔凈室：溫度、濕度、壓力（壓差）、潔凈度、浮游菌、沉降菌受控的空間。兩者沒(méi)有本質(zhì)的區別，但適用標準、等級有所差異。

十、凈化車(chē)間系統中干盤(pán)管的作用和原理

風(fēng)機盤(pán)管是空調系統中的末端設備，主要用來(lái)進(jìn)行本地的熱交換，在冬季供暖時(shí)沒(méi)有干濕之分，只有在夏季供冷時(shí)有干濕之分。

所謂干盤(pán)管指盤(pán)管的熱交換只有顯熱交換，沒(méi)有潛熱交換，這對室內無(wú)濕源且對空氣相對濕度要求不高的地方可以使用，因為在空氣含濕量一定的情況下溫度下降會(huì )使空氣相對濕度增加。盤(pán)管本身無(wú)干濕之分，干盤(pán)管是通過(guò)控制冷凍水供水溫度來(lái)實(shí)現的，即使供水溫度高于室內空氣的露點(diǎn)溫度，使室內空氣在溫度下降過(guò)程中，所含水蒸汽不凝結成水。由于干盤(pán)管只進(jìn)行顯熱交換，沒(méi)有潛熱交換，所以相對濕盤(pán)管相同溫降所需熱交換量要少一些。

十一、無(wú)塵噴漆房的無(wú)塵噴漆房工作原理

顧名思義就是在一個(gè)房間里對過(guò)濾噴漆對象進(jìn)行噴漆，現在也被叫做烤漆房。

傳統的噴漆是在露天用噴頭給器具（汽車(chē)，家具等）噴漆，但是這樣方式對于大型器具來(lái)說(shuō)會(huì )使噴漆質(zhì)量降低，例如：噴漆過(guò)程中會(huì )把空氣中的粉塵混合在油漆里，從而降低噴漆質(zhì)量；

具有不確定性浪費油漆，而且噴漆區域會(huì )非常臟；對于工作人員來(lái)說(shuō)，一方面會(huì )很臟，另一方面會(huì )吸入大量油漆霧對身體不利。后來(lái)人們想把噴漆設定在一定的范圍內，就產(chǎn)生了最早的噴漆房----抽風(fēng)式噴漆房，在中國噴漆房最早是在上世紀90 年代成都地區產(chǎn)生的。

抽風(fēng)式噴漆房的3 個(gè)關(guān)鍵就是：

1.通風(fēng)----抽風(fēng)式噴漆房工作的關(guān)鍵

2.過(guò)濾----過(guò)濾空氣中小顆粒

3.排氣----廢空氣的排出和新空氣的進(jìn)入

具體的原理是：

風(fēng)（室外空氣）----噴漆房過(guò)濾棉----噴漆臺----利用噴漆設備對噴濺噴漆----排風(fēng)扇（排出產(chǎn)生的漆霧）

這種噴漆房的弱點(diǎn)還是存在：

1.過(guò)濾布容易劃傷，灰塵容易進(jìn)入

2.易將室外不潔凈的空氣進(jìn)入

3.不環(huán)保，浪費油漆

4.需要經(jīng)常清理，定期清除過(guò)濾布上的污垢

十二、凈化車(chē)間煙控原理及設計方式

近幾年來(lái)，在我國的新竹科學(xué)工業(yè)園區內陸續發(fā)生了多次半導體廠(chǎng)房火災事故，雖然所造成的人員傷亡不大，但對于財物的損失卻很可觀(guān)，其數目動(dòng)輒以數十億乃至百億元新臺幣計算，對業(yè)界所造成的損傷與危害可想而知。高溫濃煙才是造成財損的元兇，但由于土地取得不易，凈化車(chē)間廠(chǎng)房多向高樓層發(fā)展，高智慧的技術(shù)人力及昂貴的設備機臺集中在廠(chǎng)房?jì)?，萬(wàn)一發(fā)生火災意外，損失將數十倍于一般工廠(chǎng)。此外，高科技凈化車(chē)間廠(chǎng)房?jì)仁褂迷S多的易爆性與易燃性氣體，例如SiH4、H2、PH3 等，更增加廠(chǎng)房?jì)鹊臐撛谖ｋU，若無(wú)適當的對策與措施，因此，為了降低火災發(fā)生時(shí)人員的傷亡與財物的損失，必須對建筑物進(jìn)行煙流控制，這一點(diǎn)新加坡已強制規定執行，而在鄰近的日本、大陸或香港也有類(lèi)似煙流控制法規，其目的都是在降低火災發(fā)生時(shí)，高溫煙流對員工性命及設備污染的傷害。國內現有防排煙模式分析國內目前現有之凈化車(chē)間煙控模式共有四種。其中，煙控設計原理，就是利用在凈化車(chē)間下層回風(fēng)區的一般排氣風(fēng)管，在其上安裝閘門(mén)，平時(shí)此閘門(mén)為關(guān)閉狀態(tài)，以維持一般排氣的運作，若遇上凈化車(chē)間或凈化車(chē)間下層回風(fēng)區發(fā)生火災時(shí)，則打開(kāi)閘門(mén)以進(jìn)行排煙。此設計必須有兩個(gè)假設成立才能發(fā)揮其功效，第一個(gè)假設為：若火災發(fā)生于凈化車(chē)間中，則凈化車(chē)間上方的FFU 下吹垂直層流速度必須大過(guò)火災煙塵向上升的速度，才能壓制凈化車(chē)間火災產(chǎn)生的煙塵，將其導引向下至下層回風(fēng)區中，然后經(jīng)由排氣風(fēng)管打開(kāi)的閘門(mén)抽走。第二個(gè)假設為：若火災發(fā)生于下層回風(fēng)區中，則上升的煙塵會(huì )蓄積于下層回風(fēng)區的上部，讓煙塵由排氣風(fēng)管打開(kāi)的閘門(mén)抽走。然而上述兩種假設在現實(shí)狀況中皆很難成立，因為從凈化車(chē)間天花板下吹的垂直層流速度在0.25-0.5 m/s 左右，而火災的熱釋放率只要大于3kW，煙塵的向上速度就會(huì )大于0.5 m/s，然后煙塵會(huì )在上方蓄積形成蓄煙層，此時(shí)從凈化車(chē)間天花板下吹的氣流只會(huì )造成煙塵更迅速的擴散，產(chǎn)生更大的危害。另外，如果煙塵的溫度過(guò)高，則HEAP 或ULPA 這類(lèi)濾層有可能被燒穿，使得煙塵危害更形雪上加霜，故而第一種假設無(wú)法成立。其次為蓄煙的問(wèn)題，高架地板因為有開(kāi)洞板的關(guān)系，會(huì )使得下層回風(fēng)區火災所產(chǎn)生的煙塵穿過(guò)開(kāi)洞板，向上進(jìn)入凈化車(chē)間中而無(wú)法在高架地板下蓄積，使得排煙點(diǎn)的有效排煙范圍僅限于排煙閘門(mén)周?chē)浇?，因此只能抽取到少量的煙塵，故第二種假設亦難成立。一般而言，此類(lèi)設計模式常見(jiàn)于老舊廠(chǎng)房的凈化車(chē)間中，主要是因為從前的半導體廠(chǎng)在建立時(shí)極少會(huì )考慮到煙控系統，后來(lái)因為需要，只好在一般排氣風(fēng)管上開(kāi)洞，在加裝控制閘門(mén)后做為排煙之用，如此對原來(lái)的設備及廠(chǎng)務(wù)系統影響最少。利用一般排氣風(fēng)管做為排煙系統亦有些問(wèn)題需要考慮，如管路是否耐高溫？排煙量是否足夠？風(fēng)機是否為排煙風(fēng)機？閘門(mén)是否為防煙閘門(mén)？其泄漏量為UL 555S 的何種等級？系統如何控制及可靠度問(wèn)題？故建議使用專(zhuān)用的排煙系統，可以大幅解決上述的許多問(wèn)題。

有效的煙控設計方式

主要概念是在凈化車(chē)間上方開(kāi)口排煙，開(kāi)口處使用UL 555S認證之防排煙閘門(mén)，用以承受排煙時(shí)之高溫煙塵，如果要考慮防火區劃的問(wèn)題，可改用防火及防煙風(fēng)門(mén)。凈化車(chē)間必須先進(jìn)行防煙區劃，利用現有隔間或額外加設防煙垂壁的方式，劃分凈化車(chē)間區域。當某一區劃中發(fā)生火災時(shí)，關(guān)閉該區的空調，并且打開(kāi)該區的排煙閘門(mén)，啟動(dòng)排煙風(fēng)機進(jìn)行排煙，但是非火災區的區劃之空調仍然存在，如此可讓排煙區形成負壓力區，而非火災區形成正壓力區，此正負壓設計對阻止大顆粒煙塵的擴散有一定程度的幫助，而且凈化車(chē)間為一密閉空間，必須維持壓力平衡，否則排煙系統的排氣力量會(huì )因阻力愈來(lái)愈大而使效能愈來(lái)愈差?；仫L(fēng)豎井中必須利用防煙風(fēng)門(mén)切斷回風(fēng)系統，防止被污染的空氣透過(guò)回風(fēng)系統再循環(huán)進(jìn)入其它的區劃中，此時(shí)位于凈化車(chē)間上方的外氣MA 補充系統仍提供新鮮空氣，維持空調系統仍打開(kāi)的區劃能持續送風(fēng)。排煙閘門(mén)的開(kāi)啟與排煙風(fēng)機的啟動(dòng)可以手動(dòng)或由偵煙器連動(dòng)，偵煙器可用尋址的離子式偵煙器或是及早型偵煙器VESDA。在舊有的凈化車(chē)間廠(chǎng)房中，多于回風(fēng)道采用軸流式風(fēng)機，并且搭配HEPAFilter 或ULPA Filter 之回風(fēng)形式，此種方式的廠(chǎng)房較不利于采用防煙區劃來(lái)分區關(guān)閉回風(fēng)系統并形成正負壓之防煙模式，亦即當遇到火災時(shí)，只有將回風(fēng)系統之風(fēng)機完全關(guān)閉或繼續開(kāi)啟之選擇。但在新的凈化車(chē)間廠(chǎng)房中，多改用FFU 回風(fēng)方式，如此一來(lái)，若預先設計好FFU 電路分區開(kāi)關(guān)，即可有效利用防煙區劃分區關(guān)閉FFU，形成所謂的正負壓區劃防煙。

參考資料：《潔凈室施工及驗收規范》

《無(wú)塵車(chē)間工程施工關(guān)鍵流程詳細解釋》

《最全無(wú)塵車(chē)間標準要求》

《無(wú)塵車(chē)間施工方案大揭密》

《無(wú)塵車(chē)間工程裝修寶典》

《凈化工程安裝要求,特性及監測》

《凈化工程施工大全(最新版)》

《凈化工程安裝標準大全》

《凈化工程裝修寶典》