潔凈室凈化空調系統的冷、熱源：

凈化空調系統冷源的選擇：

一、集中冷凍站和分散獨立冷源的比較和選擇。

大型規?；纳a(chǎn)工廠(chǎng)集中設置冷凍站，對建造投資和運行管理都是比較有利的。但是由于一些溫、濕要求差別比較大供冷參數不同；運行規律、運行時(shí)間不同的潔凈車(chē)間來(lái)說(shuō)，在集中冷凍站基礎上，就近設置分散、獨立、專(zhuān)用的制冷機組，這對節省能源，保證參數和方便運行管理都有極大的好處。

二、冷媒采用冷凍水還是氟立昂直接蒸發(fā)。

對于大型的工廠(chǎng)由集中的冷凍站供給冷凍水作為凈化空調系統的冷媒較為有利。因冷凍水輸送方便，輸送過(guò)程冷損失較??；而且，冷凍水作冷媒對凈化空調系統參數的控制、調節和維護管理也都比較有利。但是小的獨立分散的制冷機組可采用水冷冷水機組，也可采用風(fēng)冷直接蒸發(fā)的制冷機組。這要根據具體項目的具體情況而定。

三、采用壓縮式制冷機還是采用直燃式溴化鋰吸收式制冷機。

活塞式、離心式、螺桿式制冷機都是壓縮式制冷機，在凈化空調設計中最多采用的還是離心、螺桿等壓縮制冷機。因為其投資低，運行管理方便，但其運行耗電很高。壓縮式制冷機組的冷凍水供水溫度可調，最低供水溫度可為4℃。但是，在供電緊張而燃氣和煤供應較為方便的地區，尤其是有廢熱廢蒸汽可以利用的場(chǎng)***用直燃式溴化鋰吸收式制冷機更為經(jīng)濟，尤其是這種制冷機組在供冷的同時(shí)還可供熱。

四、凈化空調系統冷凍水的溫度的確定

當以冷凍水作為凈化空調系統的冷媒時(shí)，在一般的情況下，冷凍水的初溫（表冷器冷凍水的進(jìn)口溫度）應比處理后空氣的終溫（設計計算中確定）至少要低3.5℃；如果是以冷凍方式去濕降溫為目的空氣處理系統，冷凍水的終溫（表冷器冷凍水的出口溫度）應比處理后空氣的終溫低0.7℃；用作干式冷盤(pán)管的冷凍水的初溫（進(jìn)口溫度）應比潔凈室內空氣的露點(diǎn)溫度至少高2℃。

凈化空調系統冷源的選擇：

一、以冬季防凍為目的新風(fēng)預熱加熱器的熱媒最好采用電加熱或蒸汽加熱，一般不宜采用熱水作熱媒，這樣預熱器本身可能有被凍壞的危險。

二、空調機組內加熱器的熱媒可采用熱水、蒸汽或電加熱，其中電加熱控制靈活方便，溫度控制精確度高，但運行費昂貴，一般在沒(méi)有熱水和蒸汽供應的地方才用電加熱；用熱水作熱媒時(shí)不僅調節和管理方便、而且控制精度也高是加熱器最常用的熱媒；當溫度的精度要求不高（如℃）也可采用蒸汽作加熱器的熱媒。

三、當溫度的精度要求很高的時(shí)候（如℃）宜在送入潔凈室的支管上設溫度精度微調節的電加熱器是一個(gè)可行的方法。

四、凈化空調系統的加濕比較方便、可行、經(jīng)濟、可靠的方法是用過(guò)熱蒸汽（≥0.2MPa）作熱媒采用干蒸汽加濕器進(jìn)行加濕，或采用電熱式或電極式加濕器。當相對濕度的精度要求不高且加濕量較大時(shí)，宜采用水來(lái)加濕，可采用淋水，濕膜或噴霧（高壓噴霧或高壓微霧）等形式。

空調和凈化設備的選擇：

過(guò)濾器的基本知識和過(guò)濾器的選擇

一、過(guò)濾器的分類(lèi)：按過(guò)濾器的性能（效率、阻力、容塵量）進(jìn)行分類(lèi)，根據我國有關(guān)規范可將過(guò)濾器劃分為粗效、中效、高效、亞高效、高效和超高效六大類(lèi)。

根據我國“空氣過(guò)濾器”GB/T14295-93（新標準：GB/T14295-2008）國家標準劃分

空氣過(guò)濾器的效率和阻力

高效過(guò)濾器和超高效過(guò)濾器的效率和阻力。

性能指標性能類(lèi)別額定風(fēng)量下的大氣塵計數效率（%）額定風(fēng)量下的初阻力（Pa）A 高效額定風(fēng)量下的鈉焰效率≥99.9≤190B 高效額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量的鈉焰效率≥99.99≤220C 高效額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量的鈉焰效率≥99.999≤250D 超高效額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量的計數效率（≥0.1μm）≥99.999≤280。

根據我國“高效空氣過(guò)濾器”GB13554-92（新標準GB/T3554-2008）國家標準劃分

高效過(guò)濾器和超高效過(guò)濾器的效率和阻力

我國過(guò)濾器分類(lèi)與歐美國家分類(lèi)的比較表：

各類(lèi)過(guò)濾器效率的測試方法：

對于空氣過(guò)濾器的效率而言，相同的過(guò)濾器其效率的測試方法不同它們的效率的值也不相同，因此使用過(guò)濾器時(shí)不僅僅要了解其過(guò)濾效率，而且還要知道它們效率的測試方法。

1、一般通風(fēng)用粗效、中效、高中效過(guò)濾器效率的測試方法。

① 計重法：有人工塵計重法和大氣塵計重法，此方法源于美國,國際流行，多用于粗效過(guò)濾器的效率測試。

② 比色法：源于美國，國際通行，用于中效過(guò)濾器的效率測試。

③ 人工塵計數法：歐洲通行，將取代比色法，用于中效測試。

④ 大氣塵計數法：我國的標準。

2、高效過(guò)濾器測試方法

① 鈉焰法：中國標準。

② DOP法：源于美國，國際通行。

③ 油霧法：俄國標準，在德國和我國也通行。

④ MPPS法：歐洲標準將取代上述各種方法（最低透過(guò)率粒徑法）。

各類(lèi)空氣過(guò)濾器的功能和作用：

各種過(guò)濾器都具有一定的功能，都不是萬(wàn)能的。它的功能就決定了它的作用和使用范圍。對其選用正確，使用合理,它們就能充分發(fā)揮功能，起到應起的作用；如果選用不當,使用不合理,不僅不能發(fā)揮其作用，有時(shí)還會(huì )產(chǎn)生相反的后果。它們的功能和作用如下:

1、粗效過(guò)濾器：其功能是去除≥5μm的塵埃粒子，在空調凈化系統中作為預過(guò)濾器。其作用是保護中效.高效過(guò)濾器和空調箱內的其他配件以延長(cháng)它們的使用壽命。

2、中效過(guò)濾器：其功能是去除≥1.0μm的塵埃粒子，在空調凈化系統中作為中間過(guò)濾器。其作用是減少高效過(guò)濾器的負荷，延長(cháng)高效和空調箱內配件的使用壽命。

3、高中效過(guò)濾器：其功能是去除≥1.0μm的塵埃粒子，在空調凈化系統中作為中間過(guò)濾器，在一般通風(fēng)系統中可作為終端過(guò)濾器。

4、亞高效過(guò)濾器：其功能是去除≥0.5μm的塵埃粒子，在空調凈化系統中作中間過(guò)濾器，在低級凈化系統中可做終端過(guò)濾器使用。

5、高效過(guò)濾器：是空調凈化系統中的終端過(guò)濾器，它的功能是去除≥0.3μm的塵埃粒子，達到凈化目的。是潔凈室必備的凈化設備。

6、超高效過(guò)濾器：其功能是去除≥0.1μm的塵埃粒子，是建造高級別潔凈室（0.1μm潔凈室）的必備凈化設備，是該潔凈室的終端凈化設備。

空氣處理機組的選擇：

空氣處理機組包括空調器（AHU）、新風(fēng)機組（MAU）和循環(huán)機組（RAU），都是空調凈化系統常用的空氣熱濕交換和空氣凈化處理設備。

一、工業(yè)潔凈室用空調機組

工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的空氣處理機組是服務(wù)于凈化空調系統的，因此空氣處理機組也必須滿(mǎn)足凈化空調所需的特點(diǎn)。

1、潔凈廠(chǎng)房的溫、濕度和潔凈度要求嚴格，一般情況室內熱負荷很大、空氣處理的焓差很大、冷卻后的空氣的露點(diǎn)溫度很低，因此空氣處理機組的保溫性能要好（保溫材料為聚苯乙烯或聚氨脂發(fā)泡時(shí)保溫層厚度≥40mm），防止表面結露，冷耗過(guò)大；同時(shí)還應避免冷橋現象的產(chǎn)生。

2、因凈化空調系統總阻力較大，故要求空調機組的風(fēng)機壓頭很高（≈1500Pa），因此隨之要求空調機組圍護板壁的強度和剛度要好，不要產(chǎn)生負壓段凹進(jìn)去，正壓段凸出來(lái)的變形。

3、為了減少冷損失和漏風(fēng)，則要求空調機組的密封性能好，特別是段與段的聯(lián)接處和門(mén)開(kāi)啟處的密封。按標準要求空調機組的漏風(fēng)率≤1%。

4、為了保證潔凈廠(chǎng)房的溫、濕度和潔凈度，并且盡量節省能量，要求空調機組有較好的自動(dòng)控制，如風(fēng)機的變頻等。又因為空氣的冷、熱、濕處理的功能較多，故空調機組體形較大、長(cháng)度較長(cháng)。

二、生物潔凈室用空調機組

生物潔凈室是以微生物（細菌、病毒等）為主要研究對象的，微生物與塵埃粒子不同，它是活的、不斷生長(cháng)繁殖的粒子，因此服務(wù)于生物潔凈室的空氣處理機組應具備如下特點(diǎn)：

1、為了方便滅菌、消毒、空調機組的內表面以及內部的零配件應耐消毒藥品的腐蝕，表面要光潔。

2、因為潮濕是微生物生長(cháng)的最佳條件。因此，空調機組內部不能集水集塵，結構要方便排水；表冷器凝結水應設有自動(dòng)防倒吸功能，并順利排出凝結水；更不能采用淋水段。

3、空調機組的加濕只能采用干蒸汽加濕器（電極式或電熱式蒸汽加濕器），而不能使用濕膜、超聲波和高壓噴霧等有水的加濕器。

4、為了防止空氣帶水，空調器表冷器的斷面風(fēng)速V＜2.0m/s。

5、空調機組的密封要可靠，其漏風(fēng)率≤1%。

6、空調機組的強度和剛度要好，有一定的承壓能力。

7、各級（粗效、中效、亞高效）過(guò)濾器的過(guò)濾效率要高，而且最好采用一次性的拋棄型過(guò)濾器。

三、表冷器、加熱器、加濕器的選擇

1、表冷器是空調機組降溫去濕的關(guān)鍵設備，一般表冷器由銅管和鋁翅片構成。表冷器的換熱面積（排數）要經(jīng)計算求得，在設計中，設計人員要把空氣經(jīng)表冷器處理前后的參數（溫度、相對濕度或焓）以及冷凍水的供回水溫度提供給供貨商，由供貨商計算和配置表冷器。表冷器后面要設擋水板，表冷器下部設滴水盤(pán)，凝結水排水要通暢，排水管上要合理地設置水封。水封的高度要與空調器內的壓力相匹配。

2、加熱器是空調機組中的加熱設備。在空調機組中有一次加熱（預熱）和二次加熱（再熱）兩組。加熱的熱媒有蒸汽、熱水和電。

① 一次加熱（預熱）器設置在新風(fēng)進(jìn)入空調機組處,其目的是為了防凍和防混合結霜、結霧。因此，一次加熱器一般用在北方（長(cháng)江以北）較冷的地區。長(cháng)江以南不會(huì )結凍的地區可不設一次加熱器。一次加熱后的新風(fēng)溫度一般為+5℃。用加熱器后的溫度探頭來(lái)控加熱量。一次加熱的熱媒最好是蒸汽和電，如果用熱水做熱媒要考慮加熱器本身的防凍問(wèn)題。

② 二次加熱（再熱）器設在表冷器之后，設置目的是為了調節潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊臏?、濕度以達到設計參數。因為，二次加熱量越小就越節省空調的運行費用，故在設計時(shí)要選擇二次加熱量較小的節能方案。二次加熱的熱媒最好用熱水，因為熱水在溫、濕調節時(shí)比較穩定可靠。

③ 當潔凈廠(chǎng)房的溫、濕度精度要求極高和非常嚴格時(shí)，為了確保其參數有時(shí)在風(fēng)管上還要設置微調的電加熱器。

3、加濕器是空調機組中的加濕設備，在冬季時(shí)為了保證潔凈廠(chǎng)房?jì)缺匾南鄬穸?，必須對空調送風(fēng)進(jìn)行必要的加濕。

加濕器一般有兩種，一種是以水為加濕源的等焓加濕。如濕膜、淋水、超聲波、高壓噴霧等加濕器。這種加濕方法簡(jiǎn)單、價(jià)格便宜，加濕量也大，但其加濕的精度較差。一般相對濕度要求在＞10%的情況下用得較多。水加濕的方法不應用在生物潔凈室。因為，水加濕會(huì )給微生物提供良好生存繁殖條件。

另一種加濕方法是以蒸汽為加濕源的等溫加濕。如蒸汽加濕器、干蒸汽加濕器、電極式（電熱式）蒸汽加濕器等。這種加濕方法必須有蒸汽源，如果沒(méi)有蒸汽必須用電來(lái)產(chǎn)生蒸汽。此種加濕方法價(jià)格較高，但加濕精度很高，當相對濕度要求≤±5%時(shí)應采用等溫加濕方法。它廣泛應用在電子工業(yè)的潔凈廠(chǎng)房和生物潔凈室的加濕中。

4、淋水室和化學(xué)過(guò)濾的應用

① 淋水室是空調熱濕交換的空氣與冷媒直接接觸的方式。此種淋水形式不僅可用于熱濕交換上，還可以對新風(fēng)進(jìn)行品質(zhì)上的處理。例如，集成電路用的潔凈廠(chǎng)房其污染源不僅僅是塵埃粒子，而且，重金屬離子和分子級低濃度的化學(xué)污染也成為超大規模集成電路生產(chǎn)的重要污染源，當凈化空調系統的新風(fēng)采用淋水室的濕法處理時(shí)，可以去除新風(fēng)中的NH4、SO4、NO3等分子級的化學(xué)污染，當采用自來(lái)水和純水兩級淋水時(shí)其效果會(huì )更好。

② 活性碳過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器是空調機組中去除異味和分子級低濃度的化學(xué)污染的重要設備，一般多用在新風(fēng)機組中。

消聲器和消聲彎頭的選擇：

潔凈廠(chǎng)房的噪聲按國家規范“潔凈廠(chǎng)房設計規范”（GB 50073-2013）的規定，單向流潔凈室空態(tài)噪聲≤65dB(A)；非單向流潔凈室空態(tài)噪聲≤60dB(A)。這就要求在凈化空調系統的送風(fēng)、回風(fēng)管道上（排風(fēng)管道上）都要設置必要的消聲設備，尤其在回風(fēng)管道上。消聲器的選擇要進(jìn)行計算。

潔凈廠(chǎng)房的凈化空調系統的消聲器和消聲彎頭不應給凈化系統帶來(lái)污染。最好采用微孔板式消聲器和消聲彎頭，也可選用其他潔凈空調系統專(zhuān)用的阻式或抗式消聲設備。

凈化空調機組送風(fēng)機的選擇

凈化空調系統的送風(fēng)機設在空調機組內，其送風(fēng)機應具有如下特點(diǎn)：

一、有足夠的余壓。一般除克服機外管網(wǎng)系統的總阻力以外，還要考慮克服高效過(guò)濾器的終阻力和一定的安全裕量。但風(fēng)機壓頭選得過(guò)大不但能耗大，而且還會(huì )產(chǎn)生較大的噪聲。

二、要有足夠的送風(fēng)量。即消除室內余熱、余濕和凈化的最大風(fēng)量，并且還應有10%的的安全裕量。

三、風(fēng)機應為變頻風(fēng)機，送風(fēng)量依系統阻力變化可以自動(dòng)調節，即保證了潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊臏?、濕度和潔凈度又做到節省耗源?/p>

四、要高效率和低噪聲。

FFU及干冷盤(pán)管的選擇：

一、FFU（風(fēng)機過(guò)濾器單元）。

FFU是近年普通應用在單向流和混合流中的重要凈化設備。它是有標準模數尺寸（1200×600mm，600×600mm，1200×1200mm等）的風(fēng)機和過(guò)濾器（高效過(guò)濾器、超高效過(guò)濾器）的組合體做為潔凈室的終端設備，分散或集中地布置在潔凈廠(chǎng)房的吊頂上。為了保證潔凈廠(chǎng)房的室內參數，它經(jīng)常與干冷盤(pán)管和新風(fēng)機組配合使用。

其性能參數最好是：

1、斷面平均風(fēng)速為0.45m/s，而出風(fēng)速度的均勻性應為平均風(fēng)速的±15%。

2、FFU的機外余壓應≥100Pa，最好是140Pa以上。

3、FFU的單體噪聲應≤50dB(A)。因在單向流潔凈廠(chǎng)房中往往成百臺上千臺的FFU集中設在吊頂上，如果單體噪聲太高，則疊加噪聲就不能被接受。

4、斷面風(fēng)速可調。智能化調節，變頻調節都是可行的。

5、FFU風(fēng)機的壽命最少應大于50000小時(shí)。

二、干冷盤(pán)管：

干冷盤(pán)管是新風(fēng)機組加干冷盤(pán)管加FFU空調凈化送風(fēng)方案的潔凈廠(chǎng)房控制溫度的關(guān)鍵換熱設備，設置在潔凈廠(chǎng)房回風(fēng)夾道的下部或上部。對其性能要求如下：

1、為了避免在系統正常運行時(shí)干冷盤(pán)管產(chǎn)生結露現象，因此通過(guò)干冷盤(pán)管的進(jìn)水水溫要高于室內空氣露點(diǎn)1℃~2℃。

2、為了導走潔凈廠(chǎng)房空調系統啟動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的冷凝水，干冷盤(pán)管系統還要設置滴水盤(pán)和排水系統。

3、干冷盤(pán)管的排數最好為雙排，而且空氣通過(guò)時(shí)阻力不能太大，因此盤(pán)管鋁翅片的間距最好為3mm。

4、為了減少空氣通過(guò)盤(pán)管的阻力，通過(guò)盤(pán)管的風(fēng)速應> 2m/s。

施工圖的繪制：

一、施工圖主要設計文件有：圖紙目錄、設計與施工說(shuō)明、設備表、計算書(shū)和圖紙

二、施工圖內容

1、圖紙目錄

2、設計與施工說(shuō)明

① 設計說(shuō)明：主要介紹設計概況、設計依據、設計范圍、室內外的參數，冷、熱媒的來(lái)源和參數，采暖、通風(fēng)、空調、凈化系統的冷、熱、濕負荷的指標和系統方案及其控制方法。

② 施工說(shuō)明：說(shuō)明設計中使用的材料、附件、系統的工作壓力和試驗壓力以及施工安裝的要求和注意事項。

③ 圖例。

3、設備表

設備的名稱(chēng)、規格型號、技術(shù)參數、數量、服務(wù)對象。

4、設計圖紙

① 平面圖： 建筑輪廓、軸線(xiàn)、房間名稱(chēng)、地面標高、指北針。

采暖平面圖的散熱片位置、片數、管道位置和主管編號、管道配件、干管標高坡度坡向。

通風(fēng)空調凈化風(fēng)管畫(huà)雙線(xiàn)，水管畫(huà)單線(xiàn)，管道的管徑、安裝標高、設備和管道、風(fēng)口的大小和定位尺寸，管道的配件如消聲器、防火閥、調節閥等規格型號。

② 剖面圖：在管道多、交叉多的平面圖表示不清楚的地方畫(huà)剖面圖，剖面圖要給出設備、管道等與建筑的板、柱、梁、地之間的人才關(guān)系，注明設備、管道、配件的尺寸和標高。

③ 流程圖、系統圖和自動(dòng)控制原理圖。

④ 節點(diǎn)詳圖。

計算書(shū)的內容

包括：空調凈化的負荷計算書(shū)；風(fēng)量計算書(shū)、管道的水力計算書(shū)；設備（制冷機、空調器、冷卻塔、水泵風(fēng)機等）的選擇計算書(shū)等。

所有圖紙中，凈化空調原理圖和凈化空調自動(dòng)控制原理圖非常重要的圖紙，它能反映出設計的全部?jì)热?。如：系統型式，冷、熱量大小，節能優(yōu)化，室內的溫濕度、潔凈度等重要內容。

施工現場(chǎng)的工地工作

工地工作的內容很多，如：

一、施工圖交底。設計人員向施工單位和建設甲方介紹設計內容、施工要求、設備選擇以及施工時(shí)的注意事項等。

二、施工圖變更修改。應施工單位或建設單位的要求對原設計的施工圖進(jìn)行合理的修改變更以滿(mǎn)足施工方或建設方的要求。

三、配合建設單位和施工方對工程進(jìn)行調試和竣工驗收。

四、必要的現場(chǎng)服務(wù)和參加現場(chǎng)的例行會(huì )議。

潔凈室的竣工驗收調試，性能測試和潔凈室的綜合評價(jià)：

竣工驗收的調試工作要分以下四個(gè)步驟進(jìn)行。

調試前的準備工作；單機試車(chē)；聯(lián)動(dòng)調試；潔凈室的性能測試和綜合評價(jià)。

調試前的準備工作：

一、調試的組織準備

成立以建設單位（業(yè)主）為組長(cháng)的有設計單位、施工單位、監理單位人員參加的調試小組。調試小組領(lǐng)導調試的全面工作，調試小組協(xié)調各方面的關(guān)系，調試小組為調試工作提供各種軟硬條件。

二、編制調試大綱

在調試小組領(lǐng)導和組織下，編制調試大綱。調試大綱是調試工作的指導性文件。調試大綱的內容包括：組織分工、人員安排、物資調動(dòng)；調試項目、調試方法、調試儀表；調試程序、調試進(jìn)度、調試計劃安排等。調試大綱的編制使調試人員思想明確、認識統一、步調一致、行動(dòng)整齊，使調試工作順利進(jìn)行。

三、施工現場(chǎng)質(zhì)量的會(huì )檢

在調試小組的領(lǐng)導組織下，有建設單位、設計單位、施工單位、監理單位的有關(guān)領(lǐng)導和技術(shù)人員參加，對施工現場(chǎng)、施工質(zhì)量進(jìn)行全面會(huì )檢。從冷凍站、換熱站、鍋爐房、變配電站、空調機房到供冷、供熱、供電系統、空調凈化系統和自動(dòng)控制系統。從設備（冷凍機、鍋爐、水泵、冷卻塔、空調器等）、配件（閥門(mén)、風(fēng)口、消聲器等）、管道和管線(xiàn)到保溫、設備基礎、管道支吊架等的工程施工質(zhì)量進(jìn)行全面會(huì )檢?？词欠癜磮D施工、查與設計圖不符之處，找施工質(zhì)量不合格項目并查其原因。并對施工、加工、安裝等質(zhì)量問(wèn)題逐一填寫(xiě)“缺陷明細表”，提出整改意見(jiàn)，限期（正式調試之前）整改完畢。

四、空調設備、空調系統的清掃

1、調試之前對潔凈室進(jìn)行全面、徹底的清掃是十分必要的。對潔凈室的地面、墻面、吊頂、門(mén)窗進(jìn)行認真、全面、徹底的大掃除（最好請專(zhuān)業(yè)的清潔公司）；對空調設備、空調管道（送風(fēng)管、回風(fēng)管、新風(fēng)管），空調配件（清聲器、閥門(mén)、風(fēng)口等）進(jìn)行檢查、檢漏和擦試。達到潔凈要求為止。

2、安裝粗效、中效過(guò)濾器進(jìn)行第一次空吹。在徹底清掃的基礎上，安裝空調器內的粗效和中效過(guò)濾器。對整個(gè)凈化空調系統進(jìn)行空吹，空吹時(shí)間為24~36小時(shí)，使整個(gè)系統得到初步的凈化。

3、安裝高效過(guò)濾器。系統空吹后可以安裝高效過(guò)濾器。高效過(guò)濾器在安裝之前，要求對其逐一進(jìn)行檢漏，對有泄漏者進(jìn)行堵漏。檢漏在臨時(shí)檢漏臺上進(jìn)行，塵源利用大氣塵。被檢合格的高效過(guò)濾器方能進(jìn)行安裝，安裝完畢后對高效過(guò)濾器的安裝密封再進(jìn)行檢漏（利用塵埃粒子計數器掃描），達到安裝合格。

4、高效過(guò)濾器安裝檢漏合格后再對凈化空調系統進(jìn)行第二次空吹?？沾禃r(shí)間24小時(shí)，然后方可進(jìn)行入調試程序。

五、測試儀器、儀表、工具的準備

1、調試前要對調試中所用的儀器儀表進(jìn)行調試和標定（超過(guò)使用時(shí)間還需重新進(jìn)行標定）。所用的儀表包括測量風(fēng)速、風(fēng)量、溫度、相對濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、轉數、時(shí)間、大氣壓力和潔凈度的儀器儀表等。

2、調試所用的器材、工具的準備。如：電工工具、管工工具、扳金工工具、鉗工工具以及爬高上下的梯子等。并且請施工單位配合電工、管工、扳金工和鉗工。

3、調試和測試工作所用的圖紙和記錄表格的準備。

單機試車(chē)：

單機試車(chē)是對工程中的所有的設備、配件等單體進(jìn)行試車(chē)。單機試車(chē)的目的是對這些設備、配件的安裝質(zhì)量和產(chǎn)品出廠(chǎng)質(zhì)量的檢查和考核。單機試車(chē)的主要內容有：

水、電先行。即首先對供水供電的設備和系統進(jìn)行檢查和考核。如水泵、變壓器、配電箱、開(kāi)關(guān)等。要保證供水、供電的正常、可靠。

進(jìn)而，對供冷設備（冷凍機、冷卻塔、冷凍水泵、冷卻水等）、供熱設備（鍋爐、換熱器、熱水泵等）、空調設備（表面冷卻器、加熱器、加濕器、過(guò)濾器、風(fēng)機等）、自動(dòng)控制設備、儀表、閥門(mén)以及各系統的配件進(jìn)行單體考核?？词欠衲軡M(mǎn)足設計要求和正常運行。尤其對轉動(dòng)設備如風(fēng)機、水泵要試轉看是否運轉平穩，有無(wú)雜音和碰撞和反轉現象；用電設備接線(xiàn)是否正確；冷凍機和鍋爐是否能達到設計要求；空調器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器的加濕能力等等進(jìn)行單體檢查、考核。如果出現故障和發(fā)現問(wèn)題，應立即排除。

對于大型設備如冷凍機、鍋爐、空調器等（尤其是進(jìn)口設備）在單機試車(chē)時(shí)最好有生產(chǎn)廠(chǎng)家的調試人員現場(chǎng)指導或由生產(chǎn)廠(chǎng)家負責試車(chē)，待運轉正常后再移交給使用單位。單機試車(chē)為聯(lián)動(dòng)調試做好各個(gè)單體設備的準備工作。

聯(lián)動(dòng)調試：

聯(lián)動(dòng)調試一般情況下分為兩個(gè)階段進(jìn)行，即風(fēng)量分配階段和聯(lián)動(dòng)調試階段。

一、風(fēng)量分配

風(fēng)量分配即將各個(gè)潔凈室的送風(fēng)量、回風(fēng)量、新風(fēng)量、排風(fēng)量全部按設計要求調整到設計風(fēng)量。因為一個(gè)潔凈廠(chǎng)房可能有多個(gè)空調送風(fēng)系統和排風(fēng)系統，或一個(gè)空調送風(fēng)系統要負擔多個(gè)潔凈室的送風(fēng)。因此，風(fēng)量分配調試工作是一項工作量大、時(shí)間長(cháng)、耐心細致的工作。風(fēng)量分配調試工作也是整個(gè)調試工作的重點(diǎn)工作。常用的風(fēng)量分配調試方法采用標準風(fēng)口法。

標準風(fēng)口法：一個(gè)潔凈室可能有幾個(gè)、幾十個(gè)空調送風(fēng)口、回風(fēng)口。因為它們之間都是相通的，當調整某一個(gè)風(fēng)口送風(fēng)的風(fēng)量時(shí)其他送風(fēng)口的風(fēng)量也會(huì )跟其變化。因此，采用標準風(fēng)口法。

所謂標準風(fēng)口法，就是在風(fēng)量分配之前，將所有閥門(mén)都開(kāi)到最大的情況下，在所有的送風(fēng)口這中找到最不利的送風(fēng)口（送風(fēng)量最小的送風(fēng)口），將此風(fēng)口作為標準風(fēng)口。在標準風(fēng)口上設一監測儀表，隨時(shí)測試標準風(fēng)口的風(fēng)量變化。然后調整其它所有風(fēng)口風(fēng)量。因為調整任何一個(gè)風(fēng)口風(fēng)量時(shí)，都會(huì )影響已調整過(guò)的風(fēng)口的風(fēng)量的變化；因此，在調整任何一個(gè)風(fēng)口風(fēng)量時(shí)，都要以標準風(fēng)口當時(shí)風(fēng)量為參照風(fēng)量，使所有被調風(fēng)口的風(fēng)量均隨標準風(fēng)口的風(fēng)量變化而同步變化。

當一個(gè)凈化空調系統負責多個(gè)潔凈室空調時(shí)，調試要以潔凈室為單位由末端向總干管方向進(jìn)行，對各潔凈室首先調整其送風(fēng)量的相對關(guān)系量，然后，再用系統的總閥門(mén)來(lái)將每個(gè)送風(fēng)口，每個(gè)潔凈室的送風(fēng)量都調整為真實(shí)的設計送風(fēng)量。

聯(lián)動(dòng)調試在風(fēng)量調整和單機試車(chē)后進(jìn)行。聯(lián)動(dòng)調試就將凈化空調系統和為凈化空調系統服務(wù)的所有系統即：供冷系統（冷凍機、冷卻塔、水泵以及供冷系統上所有的配件）、供熱系統（鍋爐、水泵以及供熱系統上所有配件）、供電系統（配電箱、變頻器……）和自動(dòng)控制系統全部投入運行，考核各系統的綜合性能和聯(lián)動(dòng)性能。必要時(shí)，在潔凈室內人為的設置一定量的負荷，考核溫、濕度探頭、中間儀表和執行機構的聯(lián)動(dòng)是否敏感、協(xié)調；考核溫、濕度探頭是否準確，精度是否合格。

潔凈室的性能測試和綜合評價(jià)：

在風(fēng)量調整和聯(lián)動(dòng)調試的基礎上，潔凈室空調凈化系統以及為其服務(wù)的所有系統，均處于正常運行狀態(tài)。接著(zhù)進(jìn)行潔凈室的性能測試和綜合評價(jià)。

1、潔凈室的性能測試：

潔凈室性能測試內容包括：

潔凈度測試、風(fēng)量測試、正壓測試、風(fēng)速測試（單向流潔凈室 ）溫度、相對濕度測試、噪聲測試等。

① 潔凈度測試：采樣點(diǎn)布置在工作面上（0.8~1.0m），采樣點(diǎn)數量N=A1/2（A是潔凈室面積‘m2’）。塵埃粒子計數器的采樣量要大于1升/分；每個(gè)采樣點(diǎn)連續有效采樣三次。取其平均值做該點(diǎn)的測量值。全部測點(diǎn)的測量值的平均值作為潔凈室的潔凈度。

② 風(fēng)量或風(fēng)速測試：?jiǎn)蜗蛄鳚嵤覝y量斷面風(fēng)速、非單向流潔凈室測其風(fēng)量。

斷面風(fēng)速的測量：距吊頂上送風(fēng)高效過(guò)濾器（HEPA）300mm處布置測點(diǎn)，測點(diǎn)間距為600 mm，用熱球風(fēng)速儀測其各點(diǎn)風(fēng)速。

風(fēng)量測試：在送風(fēng)管或送風(fēng)口上測送風(fēng)風(fēng)量。方法是用比托管和微壓差計，測風(fēng)管內各點(diǎn)的動(dòng)壓，測點(diǎn)間距為100mm。再計算送風(fēng)量。

在風(fēng)量調整和聯(lián)動(dòng)調試的基礎上，潔凈室空調凈化系統以及為其服務(wù)的所有系統，均處于正常運行狀態(tài)。接著(zhù)進(jìn)行潔凈室的性能測試和綜合評價(jià)。

一、潔凈室的性能測試

潔凈室性能測試內容包括：

潔凈度測試、風(fēng)量測試、正壓測試、風(fēng)速測試（單向流潔凈室 ）溫度、相對濕度測試、噪聲測試等。

在對潔凈室性能測試的基礎上，根據對潔凈室潔凈度、溫、濕度、正壓、風(fēng)量、噪聲等測試結果，對潔凈室的建設和性能進(jìn)行竣工驗收的綜合評價(jià)。

三個(gè)凈化工程的典型案例：

大面積ISO 6級頂送頂回非單向流潔凈室工程案例

一、工程概述

深圳賽意法集成電路有限公司封裝工序潔凈廠(chǎng)房是我國第一個(gè)大面積1000級4300m²的頂送頂回的氣流流型潔凈廠(chǎng)房的成功實(shí)例。

同時(shí)它還是：國內個(gè)別學(xué)術(shù)權威所說(shuō)的頂送頂回氣流流型是不會(huì )做凈化空調的人設計的工程實(shí)例。

信息產(chǎn)業(yè)部第十一設計院設計大師王唯國 推薦十一院凈化空調設計人員，要認真學(xué)習賽意法設計的精髓和大手筆創(chuàng )造工程實(shí)例。

賽意法外方總裁稱(chēng)深圳賽意法的封裝廠(chǎng)方是他們跨國公司最優(yōu)秀的后工序封裝廠(chǎng)房。

也是在連續運行二年后動(dòng)態(tài)測試潔凈度>400個(gè)/ft³，產(chǎn)品成品率高達99%的后工序凈化廠(chǎng)房。

賽意法公司的第二期工程（十院設計）和第三期（十一院設計）完全套用了第一期工程的頂送頂回的氣流流型。

在2005年西安交大黃淑娟教授帶領(lǐng)多名博士生運行先進(jìn)（美國引進(jìn)）的CFD數字模擬方法,從理論上證明了頂送頂回的氣流流型是正確的和可行的。該實(shí)驗結果的論文，在2007年國際污染控制年會(huì )的交流大會(huì )上發(fā)表。

后來(lái)在我國“潔凈廠(chǎng)房設計規范”的修改中肯定了頂送頂回是一種非單向流的氣流流型。

1.工藝要求的各種參數：

二、問(wèn)題的起因

在與外方的設計聯(lián)絡(luò )會(huì )上，外方總裁要求該潔凈廠(chǎng)房在凈化空調系統的布置時(shí)一定要方便工藝設備的擺放，下部不能有回風(fēng)口。因廠(chǎng)房寬度為48M，中間只有一排柱子，利用柱子回風(fēng)很難解決氣流的均勻問(wèn)題，外方提出：他們意法跨國公司的后工序（封裝）潔凈廠(chǎng)房的凈化空調系統都是采用頂送頂回的氣流流型，深圳的封裝廠(chǎng)房也不例外一定要做成頂送頂回。

作為一個(gè)中國的設計人員不能給中國人丟臉，不能說(shuō)不會(huì )做。只能說(shuō)我們也可以做。但是壓力確實(shí)很大，頂送頂回的氣流流型過(guò)去我們沒(méi)有做過(guò)，1000級潔凈度潔凈倉房的頂送頂回的氣流流型就更沒(méi)有做過(guò)。4300m²大面積更是破天荒的。為此我們查閱了大量的美國、日本和韓國的有關(guān)資料和文獻.設計時(shí)我采取了如下多條措施來(lái)保證潔凈廠(chǎng)房的潔凈度和溫濕度，并且做到方便施工﹑調試和運行，努力做到一次成功。

三、設計中采取的措施

換氣次數為 50次/h。頂送風(fēng)口兩排為一組然后插入一排回風(fēng)口。為了方便施工安裝和調試設計時(shí)，采用大型穩壓靜壓箱，其尺寸為 3.0 m×3.5 m×30 m。

結果調試時(shí)風(fēng)口閥門(mén)很少調節，遠近各風(fēng)口出風(fēng)速度相當均勻。

1．為了防止氣流短路：

送風(fēng)口孔板出流風(fēng)速設計為5m/s，回風(fēng)口出流風(fēng)速設計為2.5m/s。

送風(fēng)口孔板開(kāi)孔率15%，回風(fēng)口孔板開(kāi)孔率30%。

送風(fēng)口和回風(fēng)口擴散板之間相對的斜面上不開(kāi)孔。

最后的測試結果：

從設計到施工用一年的時(shí)間（包括土建工程的總建筑面積20000m²）到1996年竣工驗收測試是由施工單位，設計單位（即總承包單位）和建設單位三家聯(lián)合進(jìn)行，采用三臺大流量計數器對空態(tài)的潔凈車(chē)間進(jìn)行潔凈度的測試，其潔凈度為24.7個(gè)/ft³比1000級提高40倍。測試的房間溫度為23±0.3℃，相對濕度為50±3%，所有的參數都優(yōu)于設計的要求。

在連續運行兩年后的1998年，我們進(jìn)行了設計回訪(fǎng)并索取了甲方平時(shí)檢測記錄，紀錄的數據表明，車(chē)間動(dòng)態(tài)潔凈度為159~365個(gè)/ft³，車(chē)間溫度為22.5±0.5℃，車(chē)間相對濕度為50±3%，生產(chǎn)的產(chǎn)品成品高達99%。賽意法外方總裁說(shuō)深圳的封裝潔凈廠(chǎng)是以意法（意大利和法國）跨國公司里最優(yōu)秀的后工序廠(chǎng)房。

但是請大家注意，潔凈廠(chǎng)房的氣流流型還是頂送下回，頂送側下回為好。除非工藝不允許下回或下側回時(shí)，才考慮其他類(lèi)型的氣流流行。

深圳清溢精密光電有限公司的一級潔凈廠(chǎng)房

一、工程概況

1、工藝的環(huán)境要求

生產(chǎn)用的TFT基板的原材料為8 mm厚的玻璃板（2 m×1.5 m），進(jìn)口一塊玻璃板原材料價(jià)100萬(wàn)RMB，工藝加工完成后刻印上圖形賣(mài)到TFT工廠(chǎng)的價(jià)格為500萬(wàn)元。一期工程面積為800 m²。

環(huán)境要求：潔凈度有200m²為.1級（≥0.5 μm），600 m²為10級（≥0.5 μm）其溫度要求為22±0.3℃，相對溫度為50±5%。（其中一臺工藝設備價(jià)錢(qián)就要1-2億人民幣。）

2、施工現場(chǎng)狀況

（1）土建工程有一個(gè)民用建筑施工單位施工。下夾層地梁表面坑坑洼洼凹凸不平地梁表面高度不平.給架設活動(dòng)地板造成很多困難。

（2）施工現場(chǎng)環(huán)境極為惡劣，土建施工與凈化施工同時(shí)進(jìn)行外面灰塵很大。

（3）施工進(jìn)度要求很短三個(gè)月要在2007年7月1日香港回歸紀念日進(jìn)行竣工驗收典禮。

二、設計和施工中的措施

1、設計方采用MAU+FFU+DC的方案:三層結構，上夾層是送風(fēng)技術(shù)夾層里面布置新風(fēng)管和FFU。新風(fēng)和回風(fēng)在這里混合，中間層是潔凈生產(chǎn)車(chē)間，下夾層是回風(fēng)技術(shù)夾層，干冷盤(pán)管布置在下夾層。另外一些管道電纜等管線(xiàn)也布置在下夾層。

2、凈化空調設備的選用

（1）新風(fēng)機組任務(wù)和選擇：

a．新風(fēng)機組要保證工藝生產(chǎn)房間的相對濕度因此新風(fēng)機組有加濕和去濕功能；同時(shí)也有加熱和降溫功能，還有高精度的自動(dòng)控制。新風(fēng)機組還要保證房間的正壓，因此每個(gè)工藝房間有獨立的新風(fēng)管，每個(gè)新風(fēng)管上設有電動(dòng)調節閥和精密的自動(dòng)控制。

（1）新風(fēng)機組任務(wù)和選擇

a.新風(fēng)機組要保證工藝生產(chǎn)房間的相對濕度因此新風(fēng)機組有加濕和去濕功能；同時(shí)也有加熱和降溫功能，還有高精度的自動(dòng)控制。新風(fēng)機組還要保證房間的正壓，因此每個(gè)工藝房間有獨立的新風(fēng)管，每個(gè)新風(fēng)管上設有電動(dòng)調節閥和精密的自動(dòng)控制。

b．采用5級過(guò)濾保證進(jìn)入工藝生產(chǎn)房間新風(fēng)的品質(zhì)并且保護FFU中的超高效過(guò)濾器（即共有六級過(guò)濾，其中有粗效.中效.化學(xué)過(guò)濾.中效.高效和超高效過(guò)濾器， 共6級）。

c．新風(fēng)機組的風(fēng)機為雙風(fēng)機一用一備，保證運行的安全可靠。新風(fēng)機組的功能段有兩級表冷，一級加熱.一級加濕兩臺風(fēng)機和五級過(guò)濾共16個(gè)功能段。冷凍水溫度1為5-10℃熱水溫度為50-60℃。加濕用電熱式蒸汽加濕器并采用純水做水源。

設計選用時(shí)與新晃、開(kāi)利、約克等著(zhù)名生產(chǎn)廠(chǎng)家的技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)座談..最后選用了新晃生產(chǎn)的產(chǎn)品，實(shí)際運行效果很好。

（2）FFU的參數和選擇

一級潔凈室的FFU采用U17超高效過(guò)濾器其效率為99.999995%（≥0.12μm）。

十級潔凈室的FFU采用U16超高效過(guò)濾器其效率為99.999995%（≥0.12μm）。FFU是保證房間潔凈度的最后關(guān)口因此非常重要。

a．FFU單體噪聲要求，噪聲≤50dB(A)；

b．FFU的機外余壓<120Pa；

c．FFU的出口斷面 風(fēng)速的均勻度為±20%（15%）；

d．FFU的電機壽命<50000小時(shí)；

我們建議采用美國飛達仕生產(chǎn)或瑞典康斐爾生產(chǎn)的FFU。但是甲方堅持購買(mǎi)XXX生產(chǎn)的產(chǎn)品結果在施工和調試中因FFU 的泄漏更換多達3-4%不僅影響施工和調試的進(jìn)度而且最終調試噪聲高達 70dB(A)超標。但因為是業(yè)主定的產(chǎn)品故甲方?jīng)]有提出疑意。

（3）干盤(pán)管的運用和控制

干盤(pán)管采用兩排，翅片間距≥3mm。面風(fēng)速為２m/s時(shí)阻力大約為30Pa，

通入干盤(pán)管的中溫水參數為14℃~19℃，通過(guò)干盤(pán)管的面風(fēng)速≤２m/s，此時(shí)干盤(pán)管的面積很大。有時(shí)下夾層布置不下還要斜放。中溫水用冷凍水混合制取。

干盤(pán)管的下面作了凝結水的滴水盤(pán)和冷凝水的排水系統

有的車(chē)間只能單側布置干盤(pán)管，.或因設備基礎（實(shí)體）占房間面積很大，會(huì )造成單向流氣流出現一定的偏斜.因此這樣高級別和高溫濕度精度的潔凈廠(chǎng)房的回風(fēng)和和干盤(pán)管布置盡量均勻，設備基礎面積最好不要超過(guò)房間面積的1/2。

干盤(pán)管是保證工藝車(chē)間的溫度精度的關(guān)鍵設備，控制采用各干盤(pán)管由分區的溫度敏感元件單獨控制。但在室內發(fā)熱量很少的時(shí)候，中溫水閥門(mén)開(kāi)啟得很小控制水量較困難，為達到控制目的，還特意將新風(fēng)送風(fēng)溫度提高.加大中溫水的水量來(lái)保證房間溫度精度。

（4）自動(dòng)控制元件選用國際上控制精度最精,價(jià)格最貴的瑞典為沙拉公司的產(chǎn)品與專(zhuān)業(yè)的自控公司共同施工調試

（5）金屬壁板和活動(dòng)地板

經(jīng)過(guò)調查和比較設計時(shí)選擇了臺灣惠亞公司提供的金屬樣板和活動(dòng)地板。

外墻內襯的彩鋼板和疏散走廊的隔墻采用耐火一小時(shí)的玻鎂彩鋼板。而內間隔墻采用鋁蜂窩彩鋼板（防火一小時(shí)），有時(shí)因外因碰撞洼痕影響美觀(guān)但重量很輕。

因風(fēng)量很大活動(dòng)地板的開(kāi)孔率為50-60%，且設備基礎大?；仫L(fēng)面積受到一定影響。

另外還有活動(dòng)地板的平整度的問(wèn)題，由于土建施工先天不足，地梁本身平整度很差，為了找平還要土建梁上作一層工字鋼的鋼梁,而且為了平整在工字鋼和土建梁之間要墊高低不同的墊片，再用激光儀器操平。增加施工難度和進(jìn)度。

地板的承重問(wèn)題，根據甲方提供地板承重要求≤800 kg/m²，但施工后設備放上去（有的設備是用幾條腿支撐）出現地板局部凹陷問(wèn)題，最后采用不銹鋼條形板將設備的支腿墊起來(lái)才消除了局部凹陷。

另外，還有一個(gè)底面積只有6m2，其重量卻有13噸的設備還未到貨，重量折合2200kg/m2。在設備的運輸通道上要墊設多厚，多大面積的不銹鋼板才能將設備運進(jìn)來(lái)，又不破壞地板。又是一個(gè)大問(wèn)題。

調試中遇到的問(wèn)題：

1、電熱式蒸汽加濕器的顯熱對室內溫度的影響問(wèn)題，一般設計時(shí)設計人員都將蒸汽加濕作為等溫加濕處理，即不考慮蒸發(fā)溫度既顯熱的影響，但是在高溫度精度的潔凈廠(chǎng)房設計時(shí)還是要考慮蒸汽部分顯熱的影響。否則在冬季蒸汽加濕投入時(shí)室內的溫度曲線(xiàn)就會(huì )突然波動(dòng)，后加濕停止也會(huì )產(chǎn)生波動(dòng)，使室內溫度波動(dòng)較大，影響溫度的精度。

2、室內出現大粒子問(wèn)題

由于凈化施工的周?chē)h(huán)境十分惡劣。

a．施工前在地下室空間建立了一個(gè)100級的設備材料庫房，其面積大約100m²把潔凈室用的設備，配件和材料等存在100級的凈化環(huán)境中保證進(jìn)入潔凈室的設備和材料的潔凈度。

b．工人員要嚴格規范施工。質(zhì)檢人員和監理要經(jīng)常監督檢查。

c．試時(shí)維持室內較大正壓，調試人員要按規定更兩次衣，兩次吹淋方能進(jìn)入。

d．由于進(jìn)度要求沒(méi)有空態(tài)測試驗收的時(shí)間（合同是空態(tài)驗收），工藝設備就要進(jìn)入潔凈室進(jìn)行二次配管配線(xiàn)和調試（進(jìn)口設備），工藝設備的調試和二次配管配線(xiàn)又一次影響了潔凈室內的潔凈度，尤其是甲方堅持要提前安裝并滿(mǎn)布FFU；當時(shí)施工單位和我們主張，等最后清掃空吹后再裝FFU。因為新風(fēng)送進(jìn)時(shí)已經(jīng)達到100級的潔凈度，能滿(mǎn)足工藝設備調試的環(huán)境要求。但最終還是將FFU過(guò)早的裝上了。這樣就出現潔凈廠(chǎng)房動(dòng)態(tài)調試時(shí)0.1μm粒子合格.0.5μm粒子為0個(gè)/ft³，而1μm和5μm的大粒子隨機地不斷出現。為此調試時(shí)間延長(cháng)了一個(gè)多月來(lái)找大粒子產(chǎn)生的原因。

因過(guò)早地安裝FFU，為了省電，工藝設備調試時(shí)FFU部分開(kāi)啟，因上技術(shù)夾層為負壓，就造成室內的空氣通過(guò)不開(kāi)啟的FFU倒流到上夾層,部分灰塵 就沉積在超高過(guò)濾器的表面；調試時(shí)這樣大 粒子會(huì )隨機落下。

潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊耐ㄓ嵗鹊募埮璨皇菨崈魪S(chǎng)房專(zhuān)用，一振動(dòng)也產(chǎn)生大量大粒子。

工藝設備的配套件不是潔凈廠(chǎng)房專(zhuān)用的設備。有些還帶風(fēng)機也會(huì )產(chǎn)生大量的大粒子。找到原因后采取必要的措施最后測試合格達標。

結果：最后我們和甲方聯(lián)合請具有NEBB資格的新加坡（港思）快思特公司第三方進(jìn)行測試結果…。

一級潔凈室（0.5 μm）動(dòng)態(tài)測試達到1級潔凈室（0.3 μm）。

十級潔凈室（0.5 μm）動(dòng)態(tài)測試達到1級潔凈室（0.5 μm）。

溫度達到23℃±0.1℃。

相對溫度達到50±3%。

北京航天光學(xué)遙感特殊交大實(shí)驗室矢流潔凈室設計案例

實(shí)驗室的工藝要求和設計難點(diǎn)

一、工程概況：光學(xué)遙感實(shí)驗室總面積約32000m²，凈化級別有10000級和100000級有可變溫度和相對溫度的要求，有氣流速度的要求，還有防微振的要求，更重要的還有個(gè)實(shí)驗室之間使用靈活性的要求。

二、實(shí)驗室屬高大房間有吊車(chē)。吊車(chē)鉤的高度有10 m、8 m和5 m，既房間高度有14 m、12 m和8 m吊車(chē)分別為4T、2T。實(shí)驗時(shí)的室內溫度要求是可變的（18-25±1℃），有時(shí)為8℃、有時(shí)為15℃、有時(shí)為25℃，相對濕度要求在35-55%范圍內。第三工作面的風(fēng)速不能超過(guò) 0.1 m/s潔凈度有10000級和100000級的要求。屬高大房間的恒溫恒濕凈化和防微振的實(shí)驗室。

三、設計中的難點(diǎn)和解決的辦法

1、有吊車(chē)的高大房間凈化空調氣流流型是一大難題

房間高14 m寬24 m有吊車(chē)，如果采用頂送風(fēng)、下回風(fēng)的氣流流型，氣流難以達到工作區。工作區的溫濕度和潔凈度難以保證。而且體積大、送風(fēng)量大、浪費能源。

經(jīng)過(guò)慎重研究和有關(guān)專(zhuān)家的討論，又經(jīng)全院專(zhuān)家評審，該實(shí)驗室的凈化空調氣流流型采用矢流。矢流氣流有流線(xiàn)之間不交叉的特點(diǎn)，用較少的送風(fēng)量可達到較高潔凈度的效果，而且工作區都在射流范圍內，其區域溫濕度和潔凈度容易保證。

但是對于單側回風(fēng)的距離長(cháng)達12 m，如何保證送風(fēng)氣流能覆蓋工作區。矢流送風(fēng)口的出口風(fēng)速為多少？射流長(cháng)度為多少？孔板開(kāi)孔率和孔徑大小為多少？要經(jīng)過(guò)理論上的進(jìn)一步計算。

2、實(shí)驗室的實(shí)驗溫度要求是可變的。即8-25℃之間可選任何溫度為基準溫度，而相對濕度應在35-55%范圍內，如何設計這樣的空氣處理系統是第二大難題。

研究所動(dòng)力站固定供應7-12℃的冷凍水為冷源，50-60℃熱水為熱源。

在夏季當室內相對濕度控制在50±5%的時(shí)候，試驗溫度要求8℃時(shí)，室內空氣露點(diǎn)約為－4℃，試驗溫度為15℃時(shí)，室內空氣露點(diǎn)溫度為5℃；試驗溫度為25℃時(shí)室內空氣露點(diǎn)溫度為14℃。

為了滿(mǎn)足不同實(shí)驗的溫濕度的要求，又能節省能源。一個(gè)空調系統的冷卻和去濕要采用三種不同的方法。當實(shí)驗溫度在20-25℃時(shí)，可利用集中冷凍站提供的7-12℃冷凍水降溫去濕。當實(shí)驗溫度在13-20℃時(shí)，可用直接蒸發(fā)冷凍機直接供冷的方法降溫去濕（蒸發(fā)溫度約為35℃）。當實(shí)驗溫度在5-12℃時(shí)，就要采用轉輪化學(xué)去濕，加7-12℃冷凍水的聯(lián)合處理方法，才能達到降溫去濕的目的。

3、實(shí)驗室共有80-90間，而且為了節能，甲方希望實(shí)驗室工作時(shí)凈化空調系統開(kāi)啟，不工作時(shí)最好停機。另外每個(gè)實(shí)驗室在實(shí)驗時(shí)對潔凈度、溫濕度的要求不盡相同，希望每個(gè)實(shí)驗室的空調系統能單獨控制，這樣一來(lái)就需要有近百臺新風(fēng)機組加循環(huán)機組，而且要分別自動(dòng)控制。不僅投資太大，浪費能源，空調機房面積也難以解決。

為此設計人員與甲方實(shí)驗室技術(shù)人員進(jìn)行詳細研究和討論，即能滿(mǎn)足實(shí)驗室靈活使用的特點(diǎn)，又不至于空調設備的數量太多，節省投資。最后雙方研究確定將使用規律相近，溫濕度潔凈度要求相同，又是相鄰的三至四間實(shí)驗室合為一個(gè)凈化空調系統，即使這樣新風(fēng)機組加循環(huán)機組空調機的數量還多達40多臺。

4、實(shí)驗室試驗設備的防微振

實(shí)驗室內實(shí)驗設備有極高的防微振要求極高：一級防微振在2～100Hz范圍內，振動(dòng)速度小于0.01mm/s；二級防微振在2～100Hz范圍內，振動(dòng)速度小于0.03mm/s；三級防微振在2～100Hz范圍內，振動(dòng)速度小于0.05mm/s。

防微振設計實(shí)施和測試是我院的強項，又一批的工程技術(shù)人員和有豐富的實(shí)踐經(jīng)驗、這是其他單位所不及的。

5、空調機房的位置和對實(shí)驗設備的防振影響

原某單位作的可行性報告中，未考慮空調設備的機房位置，而且建筑面積也不能超出原有建筑面積。設計中有40多臺空調器，大約要2000m²的機房面積。與甲方協(xié)商,機房位置有兩條出路。

第一，機房設在實(shí)驗室吊頂以上的空間，空調器吊裝在物面結構上。但此方案存在有維護管理不方便，凝結水排放，以及振動(dòng)和噪聲對實(shí)驗室的影響等問(wèn)題，其中振動(dòng)影響更為突出。第二，壓縮實(shí)驗室的面積將空調機房設在實(shí)驗室的兩側，這也存著(zhù)壓縮面積的可能性，但是維護管理方便，凝結水排放容易解決，噪聲影響也容易處理，但振動(dòng)影響還是存在。

最后經(jīng)過(guò)與甲方共同商議，又經(jīng)防微振專(zhuān)家對兩處振動(dòng)的影響進(jìn)行計算和評估采取。最終將空調機房設在實(shí)驗室兩側的二層房間內。