電子廠(chǎng)房無(wú)塵室凈化車(chē)間的設計要點(diǎn)
四川華銳凈化 2019-08-14 15:41:59 閱讀
不同級別電子廠(chǎng)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間的半導體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、食品、模具等工程。按行業(yè)標準要求,凈化級別從 10-30 萬(wàn)級。
一、凈化車(chē)間結構材料:
1、電子廠(chǎng)凈化車(chē)間墻、頂板材料一般采用 50mm 厚的夾芯彩鋼板、凈化專(zhuān)用的氧化鋁型材制造。門(mén)采用凈化密閉門(mén),窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2、地面采用環(huán)氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。
3、凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作,并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。
1)工業(yè)廠(chǎng)房潔凈工程、電子廠(chǎng)房潔凈工程、化妝品廠(chǎng)房?jì)艋こ?、光纖通訊廠(chǎng)房潔凈工程、絲印廠(chǎng)房潔凈工程、網(wǎng)印廠(chǎng)房潔凈工程;
2)GMP 廠(chǎng)房?jì)艋こ?、藥廠(chǎng)潔凈工程、食品廠(chǎng)潔凈工程、飲用水廠(chǎng)罐裝車(chē)間潔凈工程;
3)實(shí)驗室工程、無(wú)菌實(shí)驗室、生物實(shí)驗室、實(shí)驗室凈化工程整體規劃設計和施工;
4)承攬中央空調、凈化領(lǐng)域工程設備的安裝、調試及維修、保養;
5)廠(chǎng)房、車(chē)間、實(shí)驗室空調潔凈工程、無(wú)塵室工程、無(wú)塵室改造工程;
6)工業(yè)廠(chǎng)房?jì)炔扛魤こ?、吊頂工程、地面工程、其他零散工程等?/p>
單向流電子廠(chǎng)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間(1-100 級)
1-100 級的電子廠(chǎng)凈化車(chē)間,均采用單向流的氣流組織送風(fēng)方式,即電子廠(chǎng)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間內的氣流在同一截面的任意一點(diǎn),氣流的方向和速度均保持一致,這樣可以使清潔空氣象“活塞”一樣,將室內的塵埃粒子以最快的速度帶走。
要實(shí)現“活塞”的效果,高效過(guò)濾器需要布滿(mǎn)屋頂才可實(shí)現單向流的氣流組織方式。非單向流電子廠(chǎng)凈化車(chē)間(1000-10 萬(wàn)級)
1000-10 萬(wàn)級電子廠(chǎng)凈化車(chē)間的氣流組織方向和 100 級以上的電子廠(chǎng)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間不同,室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)的,伴有回流或渦流,它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內空氣,將室內的污染逐漸排出,來(lái)實(shí)現凈化。不同的凈化等級,主要是依靠單位時(shí)間內所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現的。
1.凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用 50mm 厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造 。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型 PF 發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀(guān)清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔
二、設計施工安裝準備有哪些?
1. 收集與生產(chǎn)工藝相關(guān)的數據和資料室內溫濕度的基數和精度,需要與工藝設計人員反復確定并定下合理的參數,不要一味追求高標準,因為基數和精度對投資和運行費用有極大的影響,但滿(mǎn)足工藝的基本要求是必要的。
2. 收集工程所在地的氣象資料和周?chē)h(huán)境的資料
(1)室外設計參數除一年四季的氣象資料外,還需要收集當地的環(huán)境,如:含塵濃度和會(huì )影響產(chǎn)品和生產(chǎn)工藝的各種氣體的濃度。
(2)工程周?chē)F路、碼頭、飛機場(chǎng)等交通樞紐和交通要道的距離。工程周?chē)墓S(chǎng)。倉庫。堆場(chǎng),最好遠離這些場(chǎng)所,如無(wú)法遠離,要采取相應的措施,如:新風(fēng)入口加裝過(guò)濾器級別根據測得的數據來(lái)定,還要考慮是否有必要加裝化學(xué)過(guò)濾器。
(3)收集生產(chǎn)過(guò)程中會(huì )產(chǎn)生的廢熱和有毒有害的廢氣的相關(guān)資料
a. 確定廢熱氣體的溫度和排風(fēng)的量
b.有毒有害氣體的濃度、溫度和危害程度及排風(fēng)的風(fēng)量,并要考慮處理的對策。
(4)收集生產(chǎn)工藝對電、水和特種氣體、大宗氣體的要求
(5)收集工程建筑、結構和工藝設計的平剖面圖
a. 工藝設計,電子廠(chǎng)凈化車(chē)間裝修用于的工藝種類(lèi)繁多,但是,總的原則是生產(chǎn)工藝設備的安裝和維修,生產(chǎn)工藝的流程,操作程序,人員流動(dòng)路線(xiàn)和物料傳輸布置時(shí),應避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的發(fā)生。
b.在滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和微震的控制,噪聲控制等要求的前提下,空氣潔凈度要求高的電子廠(chǎng)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間裝修(區)宜靠近空調機房布置,空氣潔凈度等級相同的工序或工作(區)宜集中布置。
c.應根據工藝設計要求設置運輸、安裝、維修的通道或檢修門(mén)。
d.人員出入電子廠(chǎng)凈化車(chē)間裝修應該設置人員凈化裝置。
e.物料,設備出入電子廠(chǎng)凈化車(chē)間裝修要設置凈化設施,設置氣閘室或傳遞窗。
f.潔凈區域內設置真空泵時(shí),應有除油裝置,尾氣排放應接至室外,傳輸有可燃氣體的系統,其濃度超過(guò)爆炸下限 20%時(shí)應有尾氣處理裝置,應去除或稀釋可燃氣體的成份,傳輸易燃自燃化學(xué)品或高濃度氧氣時(shí),應采用不燃的泵油,并配置氮氣吹掃控制閥,并且與工藝設備的操作系統聯(lián)鎖。
三、一般電子廠(chǎng)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間基本工作原理及凈化參數
凈化原理 氣流→初效空氣處理→空調→中效空氣處理→風(fēng)機送風(fēng)→凈化管道→高效送風(fēng)口→電子廠(chǎng)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間→帶走塵埃(細菌) → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。重復以上過(guò)程,即可達到凈化目的。技術(shù)參數換氣次數:十萬(wàn)級 10-15 次/小時(shí);萬(wàn)級 15-25 次/小時(shí);千級 50-52 次/小時(shí);百級操作臺斷面風(fēng)速 0.25-0.35m/s。
凈化參數
換氣次數:100000 級≥15 次;10000 級≥20 次;1000≥30 次。壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10 級、100 級 0.3-0.5m/s;
溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。
溫度 45-65%;GMP 粉劑車(chē)間濕度在 50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的 10%-30%;照度 300LX 壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa。
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;相對濕度:45-65%(RH);噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補充量:總送風(fēng)量的 20%-30%;照度:≥300Lux。
電子廠(chǎng)凈化車(chē)間裝修施工項目:
1、隔墻板:包括窗戶(hù)、門(mén),材料是彩鋼板,但彩鋼板的夾芯有很多種。
2、天花吊頂:包括吊桿、綱梁、天花板格子梁,材料一般是:彩鋼板與無(wú)塵板。
3、照明器具:采用無(wú)塵專(zhuān)用燈具。
4、電子廠(chǎng)凈化車(chē)間制作主要包括天花吊頂、空調系統、隔斷、地面、以及照明燈具。
5、地板:高架地板或防靜電 PVC 地板或環(huán)氧樹(shù)脂地板。
6、空調系統:包括主機、風(fēng)管、過(guò)濾器系統、FFU 等。
四、電子廠(chǎng)凈化車(chē)間結構設計概況與凈化要求
電子廠(chǎng)凈化車(chē)間是生產(chǎn) VCD 和 DVD 電子元件的關(guān)鍵部分,在建筑平面上被安排在廠(chǎng)房的中間(如圖 1)。廠(chǎng)房為鋼結構,生產(chǎn)車(chē)間為單層建筑,辦公部分為兩層建筑,電子廠(chǎng)凈化車(chē)間的吊頂高度為 3.3m,層高為 811m。電子廠(chǎng)凈化車(chē)間吊頂與屋面之間,敷設送風(fēng)管、回風(fēng)管、排風(fēng)管等多種工藝管道和高效過(guò)濾器,吊頂由內夾聚氨脂塑料泡沫層的夾心彩鋼板組裝而成,上人吊頂與墻面之間的縫隙用密封膠填密,地面到吊頂采用埃特板構成回風(fēng)井道,并和回風(fēng)管連接。第 1、第 2 車(chē)間面積各為 2160m2 工作人員各為 400 人,第 3 車(chē)間面積 1080m2,200 人;各車(chē)間,檢測室,衛生室和吹淋通道的溫度要求為 23℃±2℃,濕度 60%±10%,室內正壓大于 10Pa,吹淋通道凈化級別為 100 級,其余為 10 萬(wàn)級。
凈化空調系統的設計:
該廠(chǎng)的電子廠(chǎng)凈化車(chē)間,最大單間面積 2160m2,空間大,風(fēng)量大,相鄰空調機房的噪聲處理困難以及吊頂內的管線(xiàn)多,為此凈化空調分設三個(gè)獨立的系統。
每個(gè)凈化系統均設初效、中效、高效過(guò)濾器。初效過(guò)濾器安裝在新風(fēng)管上,中效過(guò)濾器安裝在空調柜內,高效過(guò)濾器安裝在吊頂上 G———室內發(fā)塵量,粒/(m3 ?min) M———大氣含塵濃度,粒/Ln———換氣次數,次/hS———回風(fēng)量和全風(fēng)量的比ηn———新風(fēng)通路上過(guò)濾器總效率ηr———回風(fēng)通路上過(guò)濾器總效率電子廠(chǎng)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間新風(fēng)量的確定,主要從三個(gè)方面考慮;第一、室內工作人員所需的新風(fēng)量,每人按 40m3/h 考慮。第二、車(chē)間內的排氣量。第三、保持正壓時(shí)的門(mén)窗縫隙的漏風(fēng)量。本工程選擇新風(fēng)量占全風(fēng)量的 12%至 15%。正壓采用余壓閥控制。各車(chē)間的送風(fēng)、排風(fēng)、新風(fēng)的參數。
空氣處理:為了滿(mǎn)足各車(chē)間的潔凈要求,設計中把電子廠(chǎng)凈化車(chē)間分成三個(gè)系統;第一、第二車(chē)間各設一個(gè)系統,第三車(chē)間、實(shí)驗室、檢測室、衛生室為一個(gè)系統??諝馓幚頇C由回風(fēng)段、致冷段、加熱段、加濕段、混合段、風(fēng)機段、中效段、送風(fēng)段組成消聲處理:
在空調設計中噪聲是一個(gè)很重要的問(wèn)題,對于大面積的電子廠(chǎng)凈化車(chē)間,它的送風(fēng)量比一般的空調系統要大得多,且送風(fēng)的風(fēng)壓也高達 116kPa,因此通風(fēng)機的電機容量也比較大,達90kPa,通風(fēng)機的聲功級為 115dB。消聲技術(shù)在本工程中尤為突出。通過(guò)減噪計算,配置相應的消聲器和消聲小室,可達到規范所要求的室內噪聲標準。工程實(shí)踐證明,凈化工程的消聲處理不一定要用價(jià)格昂貴的微穿孔板消聲器;在設計中計算出各倍頻中心頻率的噪聲量后,針對其超標的頻率噪聲,采用廉價(jià)的不銹鋼板網(wǎng)和中效無(wú)紡布、多孔材料制作出消聲器,同樣能達到消聲的目的,節約工程投資。另外,高效過(guò)濾器和中效過(guò)濾器本身也是一種很好的消聲器,在設計計算中應考慮它們的消聲量。
五、電子廠(chǎng)凈化車(chē)間的地面通常采用哪些材料
電子廠(chǎng)凈化車(chē)間地面通常用 PVC 防靜電地板、環(huán)氧樹(shù)脂地坪漆比較多。電子廠(chǎng)凈化車(chē)間地面常用材料:
01 工程名稱(chēng):PVC 地板產(chǎn)品特點(diǎn):
1、耐磨、耐腐蝕,性能穩定 2、裝飾效果好,施工方便
3、基材為半硬質(zhì)的 PVC 塑料 4、不產(chǎn)生火花和阻燃施工工藝: