電子凈化工程中對車(chē)間環(huán)境的特殊要求

       電子凈化工程的建設是要為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供可靠的環(huán)境條件，生產(chǎn)環(huán)境與電子產(chǎn)品生產(chǎn)有著(zhù)

密切的關(guān)系，合適的生產(chǎn)環(huán)境，可以提高產(chǎn)品的性能、成品率及可靠性，否則會(huì )對產(chǎn)品生產(chǎn)造成較大

的影響。主要的環(huán)境要求有：


 
（1） 空氣潔凈度要求

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      空氣潔凈度是表示空氣潔凈程度的指標，主要有兩個(gè)指標：空氣中塵埃微粒的濃度和空氣中塵埃

微粒的粒徑?？諝獾臐崈舳仁请娮赢a(chǎn)品、尤其是微電子生產(chǎn)非常重要的條件之一，空氣潔凈度不達標，

會(huì )直接對產(chǎn)品或工件造成污染，影響產(chǎn)品的性能、成品率、可靠性及壽命?？諝獾臐崈舳戎饕?jì)蓚€(gè)

方面來(lái)保證，一方面建筑密閉性能、易潔性、保溫性能是潔凈廠(chǎng)房的基本條件，另一方面是在此基礎

上凈化空調等機電系統的共同作用保證空氣潔凈度達到規定的要求。一般而言，各類(lèi)電子工程結合生

產(chǎn)要求和造價(jià)等多方面的因素，根據生產(chǎn)工藝流程設置不同面積和等級的凈化車(chē)間，隨著(zhù)工藝要求的

嚴格程度，凈化等級由外到內逐級提高。
 
（2） 空調恒溫恒濕要求

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   恒溫恒濕包含了對溫、濕度基數與容許變化范圍的要求，室內溫度的高低及變化的大小，對電子產(chǎn)品

生產(chǎn)及運行有著(zhù)很大的影響，室內溫度對電子產(chǎn)品及其生產(chǎn)的影響溫度條件影響溫度變化過(guò)大由于熱

膨脹，使元器件、電路接點(diǎn)、精密設備儀器、機械構件的溫度系數改變，造成尺寸變化、位置偏移、

機構變形，影響產(chǎn)品的性能、成品率、可靠性及使用壽命溫度過(guò)高操作人員容易出汗，易造成污染；

影響操作人員的工作情緒，影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)效率；電子元器件容易損壞、性能惡化；電子計算機

等電子設備易發(fā)生誤動(dòng)作；電機、變壓器繞阻溫度升高，超過(guò)允許限度即會(huì )燒毀；絕緣材料容易老化、

變形和脫裂，絕緣性能降低溫度過(guò)低因溫度系數改變，影響元器件的電氣性能和成品率；影響精密電

子設備及儀器的穩定性，金屬和塑料絕緣會(huì )因為收縮系數改變產(chǎn)生接觸不良、密封開(kāi)裂、焊點(diǎn)連接失

敗等問(wèn)題空氣濕度對電子產(chǎn)品生產(chǎn)的影響，

主要有以下5個(gè)方面：

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1） 影響電子設備及元器件產(chǎn)品的性能。濕度過(guò)大，電子元器件易引起漏泄通路、漏電、擊穿及材料

老化等變化；工件(如硅片)表面沾附的塵粒難以去除：電氣絕緣材料容易受潮，降低絕緣性能。而濕度

過(guò)低，又易使塑料、絕緣材料等干燥收縮、變形、甚至龜裂。
 
2） 濕度大，易在精密電子、機械設備(如電子計算機、大功率發(fā)射機、高頻感應電爐等)內部及工作表

面產(chǎn)生凝結水(即結露)，影響設備內部元器件的性能及工作穩定性，甚至引起泄露、斷路等問(wèn)題。
 
3） 當濕度超過(guò)一定的臨界值時(shí)，則將加速金屬的腐蝕。
 
4） 濕度低，容易產(chǎn)生靜電。一般而言，空氣的相對濕度不宜低于40%。
 
5） 濕度影響操作人員的工作情緒，影響產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
 
因此，電子工廠(chǎng)特別是精密電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工廠(chǎng)，均對室內溫度和濕度有不同程度的要求。為了保證達

到相應的恒溫恒濕標準，建筑物的維護結構和空調的自控功能效果都至關(guān)重要。
 
（3） 防微振要求

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    振動(dòng)對電子產(chǎn)品、特別是高精密產(chǎn)品的生產(chǎn)影響很大。即使每秒幾十微米的振動(dòng)速度，也會(huì )對生產(chǎn)

造成很大的危害。振動(dòng)對電子產(chǎn)品的影響，主要有以下幾個(gè)方面： 影響加工精度及測試精度，影響產(chǎn)

品成品率；影響設備儀器正常工作及使用壽命；影響設備儀器零部件(或元器件)的性能，甚至造成裂損

破壞；造成零件磨損或損壞，影響精度及使用壽命；易使設備儀器內部的零部件、元器件松動(dòng)，影響

正常工作。生產(chǎn)環(huán)境中的振動(dòng)，除廠(chǎng)房外部的振源(如交通車(chē)輛、機械設備、建筑施工等)以及內部振源

(如運輸車(chē)輛、機械設備、人員走動(dòng)等)以外，廠(chǎng)房本身構件的機械性共振，也是不可忽視的振源。 因

此，電子工程必須充分預計各種可能產(chǎn)生的振源，并采取必要的防振措施。
 
（4） 防靜電要求

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      靜電對電子產(chǎn)品生產(chǎn)的危害主要是：破壞電子元器件的生產(chǎn)，影響產(chǎn)品成品率，如MOS場(chǎng)效應管

和MOS集成電路，其絕緣氧化層厚度非常薄，只要遇到100V電位差，就會(huì )引起介質(zhì)擊穿，導致器件損

壞；在微電子器件生產(chǎn)過(guò)程中，各種因素產(chǎn)生的靜電電壓，往往會(huì )超過(guò)電子器件對靜電的靈敏度范圍，

如果當室內相對濕度過(guò)低時(shí)，可能產(chǎn)生一定的靜電電壓，使得產(chǎn)品損壞率上升；造成電子設備故障，

損壞設備內部元器件；引起設備誤動(dòng)作；由于靜電吸塵，影響設備通風(fēng)散熱，造成機械零件磨損，

影響使用壽命；產(chǎn)生電擊現象，危及操作人員安全，甚至會(huì )引起燃燒及爆炸事故；干擾電子計算機等

設備的正常工作。
 
      所以在電子工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，如集成電路制造等生產(chǎn)，對靜電防護有嚴格的要求，防靜電接地連接

必須安全可靠；有靜電防護的房間和設備，應注意所有設備可導電的金屬外殼、各類(lèi)金屬管道、外露的

金屬構架等均應作等電位聯(lián)結，不應有對地絕緣的孤立導體；靜電接地的連接線(xiàn)應保證可靠連接，并宜

采用焊接或壓接。當采用導電膠與接地線(xiàn)粘接時(shí)，其按觸面積不宜小于20cm2；輸送超純氫氣、天然氣

等可燃介質(zhì)的管道，必須采取防靜電接地措施，露天的放空管應該設置阻火器，并與周?chē)慕ㄖ锖蜆?br />
筑物綜合考慮防雷措施。
 
（5） 電磁環(huán)境和電磁屏蔽要求

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    在電子產(chǎn)品生產(chǎn)中，電磁環(huán)境和電磁屏蔽技術(shù)是電子工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程的重要手段和措施，同時(shí)也是影

響產(chǎn)品生產(chǎn)的一個(gè)重要環(huán)境因素，一個(gè)符合要求的電磁屏蔽環(huán)境需要多專(zhuān)業(yè)的密切配合，包含：屏蔽

殼體（壁板）的安裝（焊接），濾波器、截至波導通風(fēng)窗的安裝等，都應嚴格按照電磁屏蔽室工程施

工及驗收規范的規定進(jìn)行；電磁屏蔽室的濾波器（含電源濾波器和信號濾波器），其衰減參數應與電

磁屏蔽室的屏蔽性能一致。濾波器安裝前，必須將屏蔽室壁板與濾波器接觸面的油漆等影響導電性能

的物質(zhì)清除干凈，并在接觸面放置導電襯墊，用螺栓緊密固定，保證有良好的電氣接觸；屏蔽室的濾

波器應在屏蔽殼體安裝完畢后和屏蔽室內裝修前進(jìn)行安裝。進(jìn)出屏蔽室的線(xiàn)纜一般均應經(jīng)過(guò)濾波器，

不宜通過(guò)濾波器的應接入信號傳輸接口板。信號傳輸接口板的安裝應按《電磁屏蔽室施工及驗收規定》

（SJ 31470）的規定執行；濾波器安裝完畢后，應用電磁屏蔽檢漏儀進(jìn)行百分之百的檢漏檢查。濾波

器的屏蔽效能檢測應由國家專(zhuān)門(mén)機構組織實(shí)施，測試方法和要求應符合《高效能電磁屏蔽室屏蔽效能

檢測方法》（GB 12190）的規定。檢測指標應滿(mǎn)足設計要求；電磁屏蔽室內的電氣配線(xiàn)、綜合布線(xiàn)

、監控及安全防范系統、消防監控系統等專(zhuān)業(yè)施工應在屏蔽殼體檢查合格后進(jìn)行，施工安裝中嚴禁

破壞屏蔽層。